Способ изготовления мембран интегральных преобразователей давления

Авторы патента:

ВАГАНОВ ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ

ПОНОМАРЕВ КОНСТАНТИН МИХАЙЛОВИЧ

G01L7/02 - с помощью упруго деформируемых элементов

(i!) 450 978

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Реоаублнк (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 13.11.72 (21) 1845564/18-10 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 25.11.74. Бюллетень № 43

Дата опубликования описания 07.0б.75 (51) М. Кл. б 011 7/02

ГосударстеенныМ комитет

Совета Министров CCCP по делам изобретений и открытий (53) УДК 531.787(088.8) (72) Авторы изобретения

В. И. Ваганов и К. М. Пономарев (71) Заявитель

Московский ордена Трудового Красного Знамени инженерно-физический институт (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕМБРАН ИНТЕГРАЛЬНЫХ

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕИ ДАВЛЕНИЯ

Изобретение относится к приборостроению, в частности к технологии изготовления датчиков давления, чувствительными элементами которых являются интегральные преобразователи давления на основе кремниевых мембран с диффузионными тензометрами.

Известные способы изготовления мембран интегральных преобразователей давления путем электрохимического вытравливания участков поверхности кремниевой пластины, на противоположнои стороне которой предварительно с рормироианы диффузионные тензометры, не дают возможности получить малые размеры мембран, повторяемость параметров преооразователей и исключают возможность группового изготовления мембран на одной пластине кремния.

Цель изобретения вЂ” уменьшение габаритов преобразователей, уменьшение разброса их параметров, а также осуществление группового изготовления преобразователей на одной пластине кремния.

Поставленная цель достигается тем, что поверхность пластины, подвергаемую травлению, предварительно окисляют и на ее участки, не подлежащие травлению, наносят слой хрома так, что отдельные области этого слоя изолированы одна от другой.

Предмет изобретения

Способ изготовления мембран интегральных преобразователей давления путем электрохимического вытравливания участков поверхности кремниевой пластины, на противоположной стороне которой предварительно сформированы диффузионные тензометры, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов преобразователей, уменьшения разброса их параметров, а также группового изготовления преобразователей на одной пластине, поверхность пластины, подвергаемую травлению, предварительно окисляют и на ее участки, не подлежащие травлению, наносят слой хрома так, что отдельные области этого слоя изолированы одна от другой.

Похожие патенты:

Датчик давления // 440575

Патент 421892 // 421892

Измеритель давления // 420895

Измеритель максимального давления // 414504

Датчик для измерения давлений в массивесыпучих тел // 414503

Патент 411332 // 411332

Патент 408175 // 408175

Устройство для измерения давления // 392365

Манометрический прибор // 380972

Устройство для измерения уровня расхода и давления // 375491

Прибор для определения вакуума смыкания сосковой резины доильных стаканов // 2115305

Изобретение относится к сельскому хозяйству, в частности к устройствам для определения вакуума смыкания (жесткости) сосковой резины

Датчик контактного давления и способ его изготовления // 2144177

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться для замеров усилий и давлений в машиностроении и в других областях народного хозяйства

Датчик сдвиговых напряжений // 2252400

Изобретение относится к измерительным устройствам, в частности к конструкции тензометрических датчиков механических напряжений, и может быть использовано для измерения сдвиговой составляющей механического напряжения на границе двух сред

Устройство регистрации избыточного давления // 2287790

Изобретение относится к приборам регистрации избыточного давления и может быть использовано при изготовлении деформационных индикаторов давления, предназначенных для регистрации наибольшего достигнутого давления

Устройство регистрации давления // 2301976

Способ стабилизации упругого элемента датчика давления с тензорезисторами // 2301977

Изобретение относится к электронной технике, в частности, к технологии изготовления датчиков, преимущественно тензометрических датчиков давления

Микробарограф // 2307332

Изобретение относится к геофизическому приборостроению и предназначено для измерения атмосферного давления с целью прогнозирования землетрясений, обнаружения искусственных возмущений атмосферы и изучения влияния изменений атмосферного давления на показания геофизических приборов и земную поверхность

Капсула датчика давления // 2315273

Пороговый датчик давления // 2345340

Изобретение относится к приборостроению, точнее к средствам контроля, и может быть применено, например, в системах с гидравлической и газовой рабочей средой для измерения момента достижения заданного порога давления

Способ стабилизации упругого элемента датчика давления с тензорезисторами под давлением // 2399894

Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления датчиков, преимущественно тонкопленочных тензометрических датчиков давления