Способ измерения малых радиусов закруглениятвердых тел

О Л И С А Н И Е () 429256

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистиыеских

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 28.62.72 (21) 1752800/25-28 с присоединением эая вии № (32) Приоритет

Опубликовано 25.05.74. Бюллетень № 19

Дата опубликования описания 24.10.74 (51) М. Кл. G Olb 5/14

Государственный комитет, Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 531.717.7 (i088.8 ) t

875

В, H. Львов

Ордена Трудового Красного Знамени институт физической химии (72) Автор изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕ|РЕНИЯ МАЛЪ|Х РАДИУСОВ ЗАКРУГЛЕНИЯ

ТВЕРДЫХ ТЕЛ

Предмет изобретения

Способ относится к измерительной технике, в частности к измерению малых радиусов закругления твердых тел, например алмазных игл профилографов.

Известен способ измерения радиусов закругления твердых тел, заключающийся в микроидентировании измеряемой поверхности в металл на определенную глубину, получения ламинограммы линии пересечения контролируемой поверхности с металлом и измерения диаметра этой линии.

Однако известный способ требует использования больших нагрузок, что приводит к деформации, и тем самым, к снижению точности измерения, а также нет возможности проводить измерение малых радиусов, вследствие ограниченной разрешающей способности способа измерения.

С целью исключения этих недостатков, тело измеряемой поверхностью приводят в соприкосновение с монокристаллом ионного кристалла, например фтористого лития, с такой минимальной нагрузкой, при которой образуются дислокации, затем после выдержки в течении 5 — 30 сек и выявления дислокаций, например путем травления, измеряют пробег лидирующих дислокаций, по величине которого судят о значении, радиуса.

Этим достигается возможность измерения малых радиусов закругления и повышение точности их измерения при микроидентировании измеряемой поверхности.

Благодаря высокой чувствительности монокристаллов ионных кристаллов к внешним воздействиям, величина нагрузки на твердое тело может быть настолько мала, что можно определять малые радиусы закругления тел даже невысокой твердости, например изготовленных из металлов.

Способ измерения малых радиусов закруг15 ления твердых тел, например алмазных игл профилографов, заключающийся в микроидентировании измеряемой поверхности, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности измерения и расширения диапазона

20 измерения в сторону малых радиусов, тело измеряемой поверхностью приводят в соприкосновение с моноиристаллом ионного кристалла, например фтористого лития, с такой минимальной нагрузкой, при которой образу25 ются дислокации, затем после выдержки в течение 5 — 30 сек и выявления дислокаций, например путем травления, измеряют пробег лидирующих дислока ций, по величине которого судят о значении радиуса.