Зонд для измерения параметров интегральных схем
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистииеских
Реслублик (»)427499 (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 28.08.72 (21) 1823881/26-9 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет—
Опубликовано 05.04.74. Бюллетень ¹ 17
Дата опубликования описания 20.12.74 (51) М. Кл. Н 05k 7/12
Государотввнный квинтет
Соввта Мнинстров СССР оо долам иэоорвтвннй и открытий (53) УДК 621.396.6. .002.5 (088.8) (72) Автор .изобретения (71) Заявитель
Г. С. Исмаилов (54) ЗОНД ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ
ИНТЕГРАЛЪНЫХ СХЕМ
Предлагаемый зонд для измерения параметров интегральных схем может быть использован в производстве микросхем.
В настоящее время используются зонды с вертикальным расположением электродов, в верхней части закрепленных посредством сферического шарнира на основании зонда, или различные искатели, содержащие несколько зондов с вертикальным расположением зондов.
Известные конструкции зондов требуют предварительной регулировки соответственно для каждой цепи или обладают недостаточной точностью установки электрода на контактную площадку микросхемы из-за невозможности вести контроль за процессом устаНоВКН элект родов на контактные площадки через микроскоп, так как зонд по габаритам не помещается под окуляром микроскопа.
Целью изобретения является повышение точности установки зонда на контактную площадку микросхемы.
Это достигается тем, что в предлагаемом зонде втулка закреплена на стержне, который через кронштейн подвихкно соадине:r с рычагом, закрепленным на оси, установленной па основании зондовой головки.
Предлагаемая конструкция зонда дает возможность применять микроскоп для контроля за установкой электрода и создает удоб ство в р а боте.
На чертеже схематически изображен зонд для измерения параметров интегральных схем.
Зонд включает ось 1, на которой подвижно закреплен рычаг 2, на рычаге 2 шарнирно установлен кронштейн 8 с подвижно размещенным на нем стержнем 4. На одном конце стержня 4 имеется ручка 5, а на другом—
И втулка б из изоляционного материала с электродом 7. Пружина 8 обеспечивает давление электрода на контактную площадку.
11ажатием на ручку 5 сверху вниз поднимают электрод 7 над микросхемой, затем, манипулируя ручкой 5, выставляют электрод 7 над контактной площадкой микросхемы и опускают его. Перемещение в горизонтальной плоскости обеспечивает подвижное соединение рычага 2 с осью 1 и кронштейном 8, а перемещение в вертикальной плоскости производится шарнирным соединением стержня 4 с кронштейном 3. Самопроизвольное опускание электрода 7 на контактную площадку осущесг:;ляется пружиной 8.
Предмет изобретения
Зонд для измерения параметров интегральных схем, содержащий основание и расположенный во втулке подвижный электрод, 427499
Составитель Г. Исмаилов
Техред T. Курилко
Редактор С. Бычихина
Корректор В. Гутман
Заказ 1714/478 Изд. № 786 Тираж 760 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, )К-35, Раугиская наб., д. 4/5
Тип. Харьк. фнл. пред. «Патент» отличающийся тем, что, с целью повышения точности установки зонда на контактную площадку микросхемы, на основании установлена ось с закрепленным на ней рычагом, а втулка размещена на стержне, соединенном подвижно с рычагом через кронштейн.

