Патент ссср 422948
ф ои 1;;,,-,,,,, пп 422948
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 04.07.72 (21) 1804666/25-28 (51) М. Кл, G Olb 11/30 с присоединением заявки ¹
Государственный номнтет, Совета Мнннстров СССР по делам нзсоретеннй н открытий (32) Приоритет
Опубликовано 05.04.74. Бюллетень ¹ 13
Дата опубликования описания 04.09.74 (53) УДК 531.715.27 (088.8) (72) Авторы изобретения
Н. Н. Евтихиев, В. Е. Михайленков, А. И. Полев и А. И. Фефер
Московский институт радиотехники, электроники и автоматики (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЧИСТОТЪ| ПОВЕРХНОСТИ
Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано, в частности, для контроля чистоты поверхности.
Известно устройство для контроля чистоты поверхности, содержащее последовательно расположенные оптический квантовый генератор (газовый лазер), поляризатор, линзу, оптическую щель, матовое стекло, интерференционный фильтр, фотоприемник и самописец.
Для определения чистоты поверхности измеряют интенсивность когерентно-отраженного света при различных углах и приводят ее в соответствие с точкой измерения интенсивности света, зависящей от угла отражения. При этом, для определения числовых значений вычерчивают семейство кривых и сравнивают с измеренными интенсивностями. вычерченными B том же логарифмическом масштабе.
Процесс контроля с помощью известного устройства очень трудоемкий, и, кроме того, для определения чистоты поверхности необходимо выбрать кривую распределения чистоты, что уменьшает точность контроля. Контроль не поддается автоматизации.
С целью повышения точности и упрощения процесса контроля в предлагаемом устройстве щель расположена в фокальной плоскости линзы и выполнена с возможностью сканирования в этой плоскости.
На чертеже изображена принципиальная схема предлагаемого устройства.
Устройство для контроля чистоты поверхности содержит оптический квантовый генератор 1, коллиматор 2 с выходным окном 3 в форме круга или квадрата, линзу 4, оптическую щель 5, линзу 6 и фотоприемник 7. Индексом 8 обозначена контролируемая поверхность.
Устройство работает следующим образом.
Коллимированный пучок света от генератора 1, пройдя через выходное окно 3, попадает
15 через линзу 4, осуществляющую фурье-преобразование, на контролируемую поверхность 8.
Отраженный от контролируемой поверхности 8 пучок преобразуется в фокальной плос20 кости линзы 4 в световое распределение, эквивалентное пространственно-частотному спектру этого отражения.
Для выделения спектра, присущего контролируемой поверхности в плоскости Р, помеща25 ется оптическая щель 5. В зависимости от частоты микронеровностей, т. е. расстояния между вершинами микроповерхностей, контролируемой поверхности, угол дифракции от микронеровностей изменяется в определенных
30 пределах. Сканируя оптической щелью 5 в
42294S
Предмет изобретения
Составитель Лобзова
Техред Т. Курилко
Корректор Л. Царькова
Редактор С. Бынихина
Заказ 214771 Изд. № 710 Тираж 7бО Подписное
Ц11ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Я(-35, Рау нская наб., д. 4/5
Типография, пр Сапунова, 2
3 плоскости Р, выявляют угол дифракции, соответствующий частоте повторения микронеровн остей.
Линза 6 служит для увеличения масштаба при регистрации на выходе устройства. В качестве регистратора спсктрал;>:.û: составляющих поверхности используется фотоприемник
7 с логарифмической чувств11тельност1>ю.
Таким образо:и, определяя структуру контролируемой поверхности, получают сведения о ее чистоте.
Устройство для контроля чистоты поверхности, содержащее последовательно расположенные оптический квантовый тенератор, линзу, оптическую щель и фотоприемник, отл и ч а lо щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и упрощения процесса контроля, щель расположена в фокальной плоскости
lo линзы и выполнена с возможностью сканирования в этой плоскости.
