Смазочно-охлаждающая жидкостьдля полирования полупроводниковыхматериалов

О П И С А Н И Е (и) 420655

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советски

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 29.02.72 (21) 1754807/23-4 с присоединением заявки ¹ (32) Приоритет

Опубликовано 25.03.74. Бюллетень ¹ 11

Дата опубликования описания 09.09.74 (51) M. Кл. С 10m 3/16 тасударствеииый комитет

Савета Министров СССР па делам изааретеиий и открытий (53) УДК 621.892.621.7..016.3 (088.8) (72) Авторы изобретения

Э. П. Засецкий, А. С. Кузнецов, А, И. Москаленко, Б. И. Мовшиц, С. Л. Спектор, Ю. Н. Турчанинов и Г. С. Песоцкий

Завод чистых металлов (71) Заявитель (54) СМАЗОЧНО-ОХЛАЖДАЮЩАЯ ЖИДКОСТЪ

ДЛЯ ПОЛИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

МАТЕРИАЛОВ

Изобретение относится к обработке поверхности полупроводниковых материалов, в частности к смазочно-охлаждающим жидкостям, используемым при полировке алмазными пастами полуйроводниковых материалов, Известно применение при обработке поверхности полупроводниковых материалов алмазными пастами в качестве смазывающе-охлаждающей жидкости (СОЖ) этилового спирта.

Применяемые СОЖ имеют ряд недостатков, т. к. этиловый спирт обладает недостаточным смазывающим свойством. Кроме того, процесс полировки с применением СОЖ является чисто механическим.

Предлагается смазывающе-охлаждающая жидкость на основе этилового спирта с добавлением воды и глицерина, а также с введением едкой щелочи до рН 10 — 15.

Целесообразно использовать умягченную воду.

Этиловый спирт и ионно-очищенная вода обеспечивают отвод тепла и унос отходов шлифования из зоны обработки, глицерин осуществляет смазку в зоне обработки.

Состав СОЖ, об. %

Этиловый спирт 50 — 60

Глицерин 10 — 15

Вода до 100

Щелочь до рН 10 — 15

Испытания показали, что максимальный удельный съем при полировке монокристаллического кремния достигается при использовании СОЖ следующего состава (в об. %): этиловый спирт 55; вода 35, глицерин 10, KOH(NaOH) до рН 10 — 12,5.

СОЖ приготавливают следующим образом.

В приемный бункер механического смесителя емкостью 1,5 л заливают 350 мл воды (удельное сопротивление более 1 Мгом) и добавляют 55 мл этилового спирта. После тщательного перемешивания в течение 2 — 3 мин в смеситель добавляют 10 мл глицерина с последующим перемешиванием в течение 3—

5 мин. По окончании перемешивания СОЖ доводят до рН 10 — 12,5 добавлением концентрированной щелочи.

В качестве полировальника (при полировке монокристаллических пластин кремния) используют синтетическую замшу. Число оборотов полировальпика 50 — 55 об/мин, а удельное давление 60 — 80 г/см .

Процесс полирования ведется следующим образом.

25 Замшевый полировальник перед использованием обильно смачивают водой, после чего на него устанавливают оправки с пластинами.

СОЖ подают на полировальник с помощью капельницы со скоростью 25 — 30 капель в ми30 нуту.

Этиловый спирт и умягченная вода обеспечивают отвод тепла и унос отходов шлифования из зоны отработки, глицерин повышает смазочные свойства. Добавление едкой щелочи придает COW химическую активность, увеличивая скорость съема материала в единицу времени.

Применение этой CO% позволяет повысить чистоту обработки поверхности полупроводниковых материалов, увеличить выход в готовую продукцию, сократить время и уменьшить расход алмазных паст на обработку единицы продукции.

420655

Предмет изобретения

Смазочно-охлаждающая жидкость для полирования полупроводниковых материалов на основе этилового спирта, о т л и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью повышения смазочных свойств жидкости, в ее состав введены глицерин и вода с добавлением щелочи до рН 10—

15 при следующем соотношении компонен10 тов, об. о/о

Этиловый спирт 50 — 60

Глицерин 10 — 15

Вода до 100

Составитель Е. Пономарева

Редактор Н. Джарагетти Техред Е. Борисова Корректор Н. Аук

Заказ 2138/5 Изд, Ко 707 Тираж 537 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2