Патент ссср 410272
4I0272
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 16Х1.1972 (№ 1797884/18-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 05.1.1974. Бюллетень № 1
Дата опубликования описания 6.V.1974
М. Кл. G 011 27/00
Государственный комитет
Совета Министров СССР оо делам изобретений н открытий
УДК 531.787(088.8) Автор изобретения
В. В. Кузьмин
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИНАМИЧЕСКОЙ ГРАДУИРОВКИ
МАНОМЕТРОВ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
Известны устройства для динамической градуировки манометров низкого давления абсолютным методом, содержащие образцовый манометр, рабочий диапазон которого находится в области более высоких давлений, камеру образцового манометра, гравировочную камеру, насос и камеру, примыкающую к нему.
Известные устройства характеризуются недостаточной точностью при высоком и сверхвысоком вакууме и ограниченным диапазоном измерений давлений.
Цель изобретения — расширение диапазона градуировки в сторону низких давлений и повышение точности градуировки.
Предлагаемое устройство отличается тем, что оно снабжено дополнительной камерой известного объема, дополнительным насосом и двумя клапанами, через которые камера известного объема соединена с камерой образцового манометра и дополнительным насосом.
На чертеже изображена вакуумная система предлагаемого устройства.
Система состоит из ряда последовательно соединенных камер, откачиваемых насосом 1, примыкающим к одной из них. В этой камере — 2 — устанавливается самое низкое давление Р„. Следующая за ней камера 3 — градуировочная — отделена от предыдущей диафрагмой 4 с отверстием, размеры и форма которого таковы, что позволяют рассчитать его проводимость U по известной формуле. К градуировочной камере 3, в которой устанавливается давление Р, значительно более высокое по сравнению с Р„, с другой стороны через диафрагму 5 известной малой проводимости присоединена последняя из трех камер — 6 (известного объема Vp) . Исходное давление
Р в ней (значительно более высокое по срав10 нению с Р) измеряют образцовым абсолютным манометром 7. Градуируемые рабочие манометры (или манометрические преобразователи) 8 присоединяют к градуировочной камере 3. Камера 6 соединена с дополнительной
15 камерой 10 (известного объема V ) через клапан 9. Камера 10 откачивается до давлений, пренебрежимо малых по сравнению с Рр, через клапан 11 насосом 12.
После предварительной откачки системы в
20 камере 6 устанавливают давление Ро, измеряемое образцовым абсолютным манометром 7.
При этом клапан 9 закрыт, клапан 11 открыт.
Затем закрывают клапан 11 и открывают клапан 9. Давление Pp, устанавливающееся в оо25 щем объеме Vp+V< камер 6 и 10, рассчитыва. ют по формуле о
РО =Po о + +i
ЗО (причем Po (Po и уже не может быть измере410272
p(n) — о о р
Составитель С. Непомнящая
Техред 3, Тараненко
Корректор Т. Хворова
Редактор Б. Федотов
Заказ 1037!10 Изд. _#_o 362 Тираж 760 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР. по делам изобретений и открытий
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 но непосредственно образцовым манометром
7). Тогда давление P в градуировочной камере 3 рассчитывают по формуле
Р= PΠ— У К Р..
+o — +i
После этого вновь закрывают клапан 9 и открывают клапан 11, сопоставляют расчетное значение давления Р с сигналами градуируемых манометров 8.
Повторив описанные операции и раз, можно воспроизвести в камерах 3 и 6 достаточно низкие давления:
Измерив первоначально сравнительно высокое давление Ро, можно при определенном числе и описанных циклов расширения воспроизвести и рассчитать весьма низкие давления. Например, при Vo= V1P(n)=2 — "P и при п=7 давления в камерах будут более чем в
100 раз ниже первоначальных.
Предмет изобретения
Устройство для динамической градуировки манометров низкого давления, содержащее об10 разцовый манометр, рабочий диапазон которого находится в области более высоких давлений, камеру образцового манометра, градуировочную камеру, насос и камеру примыкающую к нему, отличающееся тем, что, с целью расширения диапазона градуировки в сторону низких давлений и повышения точности градуировки, оно снабжено дополнительной камерой известного объема, дополнительным насосом и двумя клапанами, через которые камера известного объема соединена с камерой образцового манометра и с дополнительным насосом.
