Ан ссср
Союз Советских
Социалистических
Республик
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Х АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт, свидетельства №
Заявлено 13.XI I.1971 (№ 1724261/18-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 10.Ч111.1973. Бюллетень ¹ 33
Дата опубликования описания 27.XII.1973
M. Кл. G 011 27/00
Гасударственный комитет
Совета Министров чССр по делам изаоретений и открытий
УДК 531.787.91(088.8) Авторы изобретения Г. С. Григорьева, В. А. Кукушкин, Б. H. Рузин, Ю. С. Рутгайзер и А. М. Шерешевский
Заявитель Специальное конструкторское бюро аналитического приборостроения
AH СССР
КОМПЕНСАЦИОННЫЙ МИКРОМАНОМЕТР
Изобретение относится к приборам для измерения давления, в частности к мембранным емкостным компенсационным микро манометрамам.
Известны мембранные емкостные компенсационные микроманометры, содержащие мостовую схему с емкостным датчиком давления, усилитель, синхронный детектор, генератор, источник напряжения компенсации, блок питания и индикаторный прибор. 10
Целью изобретения является упрощение тарировки компенсационного микроманометра.
Для этого микроманометр снабжен дополнительной емкостью, подсоединенной парал- 15 лельно емкостному датчику давления через ключ, и переменной емкостью с микрометрическим устройством, проградуированным в единицах, пропорциональных постоянной микроманометра, подсоединенной к противопо- 20 ложному плечу мостовой схемы.
На чертеже приведена блок-схема предлагаемого микроманометра.
Емкостный датчик представляет собой две герметичные камеры, разделенные упругой 2S металлической мембраной. В одной из камер параллельно плоскости мембраны расположен неподвижный электрод, образующий с мембраной емкость, включенную в мостовую схему. 30
Схема микроманометра включает усилитель 1 сигнала разбаланса мостовой схемы, синхронный детектор 2, генератор 8 переменного напряжения, источник 4 напряжения компенсации, блок 5 питания, индикатор б, конденсатор 7 постоянной емкости в плече мостовой схемы, включенной последовательно с датчиком, датчик 8 микроманометра, конденсатор 9 постоянной емкости в смежном с датчиком плече мостовой схемы, подстроечные переменные конденсаторы 10 и 11 в смежном с датчиком плече мостовой схемы, конденсатор 12 постоянной емкости и конденсатор 18 переменной емкости в противоположном по отношению к датчику плече мостовой схемы, ключ 14 и микрометрическое устройство 15 для плавной регулировки емкости с лимбом, проградуированным в единицах, пропорциональных постоянной микроманометра и конденсатор 1б переменной емкости.
Микроманометр работает следующим образом.
Из-за разности давлений в камерах датчика микроманометра мембрана прогибается, что вызывает изменение емкости емкостного датчика 8. Изменение емкости приводит к разоалансу мостовой схемы и появлению выходного сигнала. Прогиб мембраны компенсируется за счет сил электростатического
393629
Предмет изобретения
hP=К V, 10
Составитель С. Непомнящая
Техред Т. Курилко
Корректор Е. Михеева
Редактор Е. Сотник
Заказ 3450/4 Изд. № 905 Тираж 755 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 взаимодействия путем подачи компенсирующего напряжения с выхода источника 4 напряжения между мембраной и электродом датчика. При этом исчезает сигнал разбаланса мостовой схемы и стрелка индикатора б устанавливается в нулевое положение.
Разность давлений ХР определяют из формулы: где V — компенсирующее напряжение;
К вЂ” постоянная микроманометра.
Перед калибровкой выравнивают давления в обеих камерах датчика, и емкостями 10 и
11 производится балансировка мостовой схемы до получения нулевого показания на индикаторе б.
Затем параллельно датчику подсоединяют конденсатор 1б переменной емкости, изменением емкости конденсатора 18 снова производится балансировка мостовой схемы. При этом величина изменения емкости конденсатора 18 однозначно связана с величиной постоянной микроманометра. Поэтому при первичной калибровке микроманометра по эталонному компрессионному манбметру на заводе-изготовителе шкала микрометрического устройства 15, связанного с емкостью конден5 сатора 18, калибруется в единицах, пропорциональных |постоянной микроманометра.
Компенсационный микроманометр, содержащий мостовую схему с емкостным датчиком давления, усилитель, синхронный детектор, генератор, источник напряжения компен15 сации, блок питания и индикаторный прибор, отличающийся тем, что, с целью упрощения тарировки, он снабжен дополнительной емкостью, подсоединенной параллельно емкостному датчику давления через ключ, и пере20 менной емкостью с микрометрическим устройством, проградуированным в единицах, пропорциональных постоянной микроманометра, подсоединенной к противоположному плечу мостовой схемы.
