Способ динамической градуировки манометров низкого давления
ОПИС
ИЗОБРЕ
К АВТОРСКОМУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. сви
Заявлено 23Х.1972 (М с присоединением заяв
Приоритет
Опубликовано 10.XI l.1
Дата опубликования
Кл. б 01l 27/00
Гоаударотвенный комитет
Совета Министров СССР оа делам изабретений и открытий
К 531.787(088.8) Автор изобретения
В. В. Кузьмин
Заявитель
СПОСОБ ДИНАМИЧЕСКОЙ ГРАДУИРОВКИ МАНОМЕТРОВ
НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к градуировке манометров низкого давления динамическим методом.
Известный способ градуировки с помощь.о трех камер, последовательно соединенных через отверстия с известными проводимостями, и откачиваемых вакуумным насосом, характеризуется недостаточной точностью; кроме того, в известном способе сложен процесс градуировки.
Цель изобретения — повышение точности и упрощение процесса градуировки.
Это достигается тем, что вначале посредством клапана, помещенного в камере низкого давления, открывают одно из отверстий, расположенных между градуировочной камерой и камерой низкого давления, фиксируют при этом по манометру сравнения значение давления в градуировочной камере, за ем закрывают это отверстие и FIQFIH?KBIoò давление газа в камере с образцовым манометром до значения, при котором показание манометра сравнения станет таким же, когда отверстие было открыто, и затем, вновь открывая отверстие, понижают давление в градуировочной камере до значения, определяемого расчетом и соответствующего показанию градуируемого манометра.
На чертеже представлена схема вакуумной системы, используемой в предлагаемом способе.
Вакуумная система состоит из трех последовательно соединенных камер, откачиваемых насосом 1, примыкающим к одной из них— камере 2. В этой камере устанавливается самое низкое давление Р„. Следующая за камерой 2 камера 3 — градуировочная — отделена от предыдущей двумя диафрагмами 4 и 4
lO с отверстиями, размеры и форма которого таковы, что позволяют рассчитать их проводимость UI u Uq соответственно по известной формуле. Одну из диафрагм — 4 (U ) мо?кно открывать или закрывать с помощью клапана
15 (или задвижки) 5, находящегося в камере 2.
К градуировочной камере 3, в которой устанавливается давление Р, значительно более высокое по сравнению с Р„, с другой стороны через диафрагму 6 известной малой проводи20 мости Up присоединена последняя из трех камер — камера 7, исходное давление Ра в кс торой (значительно более высокое по сравнению с P) измеряют образцовым абсолютным манометром 8. Градуируемые рабочие мано25 метры (или манометрические преобразователи) 9 присоединяют к камере 3. Манометр 10 сравнения присоединен к градуировочной камере 3.
Предлагаемый способ представляет собой
30 следующую последовательность операций.
408183 отсюда
Изд, № 269
Тираж 755
Заказ 863/12
Подписное
Типография, пр. Сапунова, 2
После предварительной откачки системы в камере образцового манометра устанавливают давление РО, измеряемое этим манометром; при этом клапан открыт. Давление Р в градуировочной камере, фиксируемое манометром сравнения, рассчитывают по формуле:
P= P,.
U 1 + 2
Закрывают клапан. После этого в камере образцового манометра устанавливают такое давление РО, чтобы манометр сравнения вновь зафиксировал значение P (причем РО (РО и уже не может быть измерено непосредственно образцовым манометром) . Тогда
Р= РО.
РО Р. + U
Открывают клапан. Давление P, фиксируемое манометром сравнения, рассчитывают по формуле:
P — Ро — Р.
Ut + Us Ui + г Ui + Uà
Сопоставляют расчетное значение давления
P с сигналом градуируемого манометра.
Предмет изобретения
Способ динамической градуировки манометров низкого давления с помощью вакуумной
5 системы, содержащей три камеры, последовательно соединенные через отверстия с известными проводимостями: камеру с относительно высоким давлением, к которой подсоединен образцовый манометр, градуировочную каме10 ру, к которой присоединены манометр сравнения и градуируемый манометр, и камеру низкого давления, связанную с вакуумным насосом, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения процес15 са градуировки, вначале посредством клапана, помещенного в камере низкого давленИя, открывают одно из отверстий, расположенных между градуировочной камерой и камерой низкого давления, фиксируют при этом по
20 манометру сравнения значение давления в градуировочной камере, затем закрывают это отверстие и понижают давление газа в камере с образцовым манометром до значения, при котором показание манометра сравнения ста25 нет таким же, когда отверстие было открыто, и затем, вновь открывая отверстие, понижают давление в градуировочной камере до значения, определяемого расчетом и соответствующего показанию градуируемого манометра.
