Патент ссср 401185

ОПИСАНИЕ 4OII85

ИЗОБРЕТЕ Н ИЯ, СОиз СбеетскиМ

Гоциапистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕХ)ЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”

Л!.Кл, С 21d 9 52

Г 27Ь 9,, 14

Заявлено 09.Ч1.1972 (¹ 1795645/22-1) с присоединением заявкп М

Приоритет—

Опубликовано 21.XI.1973. Бюллетень ¹ 46

Дата опубликования описания 29.Vll.1974! асударетвенный комитет

Совета Мнннстрав СССР но .волли изооретеннй н нтнрытнй

УДК 621.783.223 (088.8) .

Авторы изобретения

Ю. И. Прохоров, Н. И. Макаров и Г. К. Васильев

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ

ИЗДЕЛИЙ HA ГАЗОДИНАМИЧЕСКОЙ ПОДУШКЕ

Изобретение относится к устройствам для термической обработки изделий, в частности к устройствам для термической обработки плоских изделий полупроводникового производства на газодинамической подушке, и может быть использовано на предприятиях электронной промышленности.

Известна нагревательная печь, содержащая камеру нагрева и газотранспортный лоток, имеющий направляющие дорожки с отверстиями-соплами.

Такая конструкция печи не обеспечивает в!)зх)о>к)!ости проведения термической обработки изделий по циклическому режиму, .c. по режиму с многократным последовательным чередованием циклов нагрева и охлаждения изделий при их обработке при сокращении длительности процесса.

Цель изобретения — создание устройства для термической обработки плоских изделий с транспортированием на газодинамической подушке, позволяющего производить термообработку изделий по циклическому режиму прн сокращении длительности процесса термообраоотк и.

1)ел! достигается тем, что в предлагаем<)м ус!ро1!cтв(. )!аправля)опцие дорожки Газотра!!спортпoro лотка выполнены в виде петлеобразных секций, преимущественно параллельных ме)кду собой и соединенных друг с другом вне

2 нагревательной камеры так, что конец первой секции является началом второй секции, а конец второй секции — началом третьей и так далее, причем число секций соответствует числу циклов нагрева и охлаждения обрабатываемых изделий.

На фиг. 1 показано предлагаемое устройство для термической обработки плоских изделий, общий впд; на фиг. 2 — разрез по Л вЂ” А !

О на фнг. 1.

Устройство для термической обработки плоских изделий на газодинамнчсской подушке состоит из камеры 1, имеющей водоохлаждаемую рубашку 2, нагреватели и инфракрас-!

5 ные излучатели 8, расположенные над газотранспортным лотком 4 с направляющими дорожками 6, выполненными в виде петлеобразных секций с наклонными в направлении перемещения изделий 6 отверстиями-соплами

2о 7, сообщающимися между собой общим каналом 8, служащим для подвода сжатого газа (воздуха) .

Термообработка изделий 6, например круглых полупроводниковых пластин, осуществляется следующим образом.

В канал 8 газотранспортного лотка 4 пода!от, например, сжатый воздух под давлением, обеспечивающим взвешивание изделий 6 над плоскостью направляющей дорожки 6 н зп их устойчивое перемещение на газодинами401185

Воздук

3 чсской подушке в направлении, соответствующем направлению истечения струй воздуха из отверстий-сопл 7.

Инфракрасные излучатели 8 питаются напряжением от силового блока питания, подключенного к сети переменного тока. Величина напряжения, подаваемого на излучатели, обусловлена температурным режимом нагрева изделий б, После установления внутри отражательной камеры 1 квазистационарного теплового и газодинамического режимов изделие подают па начало направляющей дорожки 5 газотранспортного лотка 4. Изделие перемещается на газодинамической подушке и входит в отражательную камеру с заданным температурным уровнем. Перед выходом нз нагревательной камеры изделие приобретает температуру, соответствующую первому циклу нагрева, а при его дальнейшем перемещении на участке направляющей дорожки, расположенном за пределами нагревательной камеры, оно охлаждается до температуры, соответствующей первому циклу охлаждения и определяемой

4 временем нахождения изделия за пределами нагревательной камеры. Далее циклы нагрева и охлаждения изделия повторяются, и число пх зависит от свойств обрабатываемых изделий и технологических режимов обработки, определяемых числом секций направляющих дорожек, 10 Предмет изобретения

Устройства для термической обработки изделий на газодинамической подушке, содержащее нагревательную камеру и газотранспорт15 ный лочок, имеющий направляющие дорожки с отверстиями-соплами, отлича ащееся тем, что, с целью обеспечения возможности термообработки изделий полупроводникового производства по циклическому режиму, направ20 ляющие дорожки выполнены в виде петлеобразных секций, соединенных вне нагревательной камеры, причем число секций соответствует числу циклов термообработки.

Редактор 3. Шепелева

Составитель О. Михайлова

Техред А. Камышникова

Корректор В. )Колудева

Заказ 1767 Изд. № 1130 Тираж 59!

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва,,Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Загорская типография

Подписное