Устройство для бесконтактного
-1, ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
398893
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 17ЛХ.1971 (№ 1700435/18-10) с присоединением заявки ¹â€”
Приоритет
Опубликовано 27.1Х.1973. Бюллетень ¹ 38
Дата опубликования описания 18.11.1974,Ч. Кл, G Olr 27 00 осударственный комитет
Совета Министров CCRC оо делам изобретений и открытий
УДК 621.317 ЗЗ(088 8) Авторы изобретения
А. С. Кукуй и В. В. Кущ
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ БЕСКОНТАКТНОГО
КОНТРОЛЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
Настоящее изобретение относится к области промышленного производства полупроводниковых материалов.
Известны у стройства для бесконтрольного контроля удельного сопротивления полупроводниковых материалов, использующие емкостной метод измерения, заключающийся в том, что в измерительный колебательный контур, питаемый генератором, помещается при помощи электродов измеряемый образец, сопротивление которого шунтирует через емкость связи колебательный контур, а процесс измерения заключается в изменении величины емкости связи до момента резонанса измерительного колебательного контура с генератором. Однако при использовании известных устройств на результаты измерений оказывают влияние геометрические факторы. Например, отклонение диаметра кристалла от номинального на 10 о при определенной геометрии электродов связи, вызывая изменение емкости связи, может привести к изменению показаний регистрирующего прибора при том же значении удельного сопротивления измеряемого кристалла на 100 0 и более в зависимости от степени «остроты» резонанса измерительного колебательного контура.
Влияние отклонения диаметра измеряемого кристалла от номинальной величины может сказаться на результате измерений в большей мере, чем изменение величины удельного сопротивления этого же кристалла. Для устранения подобных явлений необходимо производить подстройку измерительного контура в резонанс с генератором, что осуществляется изменением емкости связи между кристаллом и измерительным контуром. Такую настройку осуществляют вручную. В этом положении регистрирующий прибор фиксирует амплитудное
10 значение напряжения измерительного контура, соответствующее сопротивлению измеряемого кристалла.
Необходимость ручной настройки измерительного колебательного контура в резонанс
15 с генератором является одним из существенных недостатков устройства.
Для повышения точности измерения и упрощения процесса измерений, предлагаемое уст20 ройство снабжено переменным корректирующим конденсатором, одна обкладка которого включена последовательно с одним из электродов связи,.а другая одновременно связана с измерительным колебательным контуром и
25 регистрирующим устросйтвом, причем ротор переменного корректирующего конденсатора жестко связан с вьппеуказанным электродом связи.
На чертеже приведена функциональная схеЗ0 ма предлагаемого устройства.
398893
Предмет изобретения (u 5ясричном прибору
Составитель В. Скоробогатова
Редактор И. Шубина Техред Т. Миронова Корректор Н. Учакина
Заказ 259/13 Изд. № 2035 Тираж 755 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Генератор 1 питает измерительный колебательный контур 2, в который через емкость связи 3 включается измеряемый образец полупроводника 4. Предлагаемое устройство содержит переменный корректирующий конденсатор 5, ротор которого механически связан с одним из электродов связи, занимая то или иное положение в зависимости от величины диаметра измеряемого кристалла. Включен переменный корректирующий конденсатор последовательно с емкостью связи полупроводникового кристалла с измерительным колебательным контуром. При изменении положения ротора корректирующего конденсатора, емкость его меняется таким образом, что компенсирует изменение емкости связи, вызванное изменением диаметра кристалла, поддерживая измерительный колебательный контур в состоянии резонанса с генератором.
Устройство для бесконтактного контроля удельного сопротивления полупроводниковых
5 материалов, содержащее задающий генератор, измерительный колебательный контур с электродами связи, внутри которых помещен испытуемый образец полупроводника, детектор и регистрирующий прибор, отличающееся тем, 10 что с целью повышения точности измерения, оно снабжено переменным корректирующим конденсатором, одна обкладка которого включена последовательно с одним из электродов связи, а другая одновременно связана с изме15 рительным колебательным контуром и регистрирующим устройством, причем ротор переменного корректирующего конденсатора жестко связан с вышеуказанным электродом связи.
