Прибор для определения содержания тетрахлорида

Авторы патента:

G01N13 - Исследование поверхностных или граничных свойств, например смачивающей способности; исследование диффузионных эффектов; анализ материалов путем определения их поверхностных, граничных и диффузионных эффектов; исследование или анализ поверхностных структур в атомном диапазоне

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

=:авнсимое от авт. свидетельства №

М. Кл. б 01п 13 00

С 01b ЗЗ/08

Заявлено 01.VI I.1971 (№ 1678688/23-26) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 21.VI.1973. Бюллетень № 27

Дата опубликования описания 10.XII.1973

Государственный комитет

Совете Министров СССР па делам изобретений и открытий

УДК 540.84:546

28 (088.8) Авторы изобретения

E. М. Абдурахманов, В.,П. Пашкуденко и В. В, Харченко

Институт электроники АН Узбекской ССР

Заявитель

ПРИБОР ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОДЕР)КАН ИЯ ТЕТРАХЛОРИДА

КРЕМНИЯ В ВОДОРОДЕ

Изобретение может быть применено в эпитаксиальной технологии и производстве полупроводникового кремния.

Известное устройство содержит измерительный и эталонный газовые каналы с чувствитсльнымн элементами, расположенными в них, и измерительную систему. В качестве чувствительных элементов применсны термисторы.

Каждый термистор соединен с отдельной транзисторной цепью, которая задает режим раооты термистора.

Цель изобретения повысить точность результатов измерения при скорости газового потока и упростить прибор.

Зто достигается тем, что измерительный н эталонный газовые каналы снабжены газо выми ячейками диффузионного типа, в которых установлены чувствительные элементы.

Причем в качестве чувствительных элементов использованы термопреобразователи, соединенные в каждом канале последовательно в термобатарею.

На фиг. 1 изображен предлагаемый прибор, общий вид; на фиг. 2 вЂ” разрез блока чувствительных элементов вдоль одного из газовых каналов.

Блок чувствительных элементов состоит из массивного корпуса 1 с измерительным и эталонным газовыми каналами 2, снабженными двумя газовыми ячейками диффузионного типа 8, расположенными перпендикулярно оси газовых каналов. В газовых ячейках каждого канала вакуумно-плотно установлены термопрсобразователи 4, например типа ТВБ вЂ” 9.

Штуцеры 5, установленные на входе н выходе каи(дого канала, слуи(ат для присоединении прибора к газовой системе.

Нагреватсли термопреобразогатслсй соединены последовательно. Рабочий ток задается

10 сопротивлением б (1(=500 олт) и регистрируется миллиамперметром 7. Измерительные цепи термопреобразователей включены в каждом канале последовательно с учетом полярности и образуют термобатарсю. Злектропз15 мерительный прибор 8 регистрирует разность термоэдс, возникающую при изменении теплопроводности газовой среды. Переменное сопротивление 9 служит корректором пуля. Первоначально вся система продувается чистым во20 дородом, который проходит по измерительному и эталонному каналам и омывает термопреобразователи. Сопротивлением 9 устанавливают нуль прибора 8, что соответст|вует отсутствию тетрахлорида кремния в водороде. За25 тем в измерительный канал вводится парогазовая смесь, содержащая пары тетрохлорида кремния. Термопреобразователи эталонного канала остаются в среде чистого водорода, а термопреобразователи измерительного канала

30 омываются водородом, содерн(ащим пары те387263

Предмет изобретения г 4", Составитель В, Майоров

Тскрсд Т. Миронова Корректор Л. Новожилова

Редактор С. Ежкова

Заказ 3262/3 Изд, № 840 Тираж 755 Подписное

ЦИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 трахлорида кремния. Так как теплопро водность смеси ниже теплопроводности чистого водорода, температура термопреобразователей возрастает, и прибор 8 отмечает наличие термоэлектродвижущей силы. По калибровочной кривой, построенной для различных потоко в водорода в диапазоне концентраций тетрахлорида кремния в водороде от О до 3,5%, определяется содержание тетрахлорида кремния.

1. Прибор для определения содержания тетрахлорида кремния в водороде, содержа1ций измсрительный и эталонный газовые кана,ihl с ч; вствителы!ыми Э.Ic.ìñiii ÿìè, p3cIIOложенными в них, и измерительную систему, отличающийся тем, что, с целью повышения точности результатов измерения при изменении скорости газового потока и упрощения прибора, измерительный и эталонный газовые каналы снабхкены газовыми ячейками диффузионного типа, в которых установлены чувст10 внтельные элементы.

2. Прибор для определения содержания тетрахлорида кремния в водороде по п. 1, отличающийся тем, что в качестве чувствительных элементов использованы термопреобразоватеl5 л,и, соединенные в каждом канале последовательно в термобатарею.

Патент 379887 // 379887

5иблиотекав. г. касаткин // 379857

Способ определения активной удельной поверхности портландцемента // 377689

Способ определения активности железных // 373592

Ьиьлиотик1_1 // 373564

Устройство для определения рассеивающей способности электролитов // 372481

Способ измерения концентрационного распределения компонентов в диффузионной зоне // 371481

Устройство для определения поверхностных характеристик в системе металл — шлак—газ // 364876

Способ определения поверхностных характеристик расслаивающихся жидкостей // 364875

Экспресс-метод оценки смачивающей способности волокнистых частиц // 2100797

Способ определения молекулярно-массового распределения молекул полимера // 2105285

Изобретение относится к способам определения молекулярно-массового распределения как линейных полимеров, так и межузловых цепей сетчатых полимеров

Способ определения полярных граней полупроводниковых соединений // 2105286

Изобретение относится к технологии материалов электронной техники, в частности к способам определения полярных граней полупроводниковых соединений типа AIIIBV (InSb, GaSb, InAs, GaAs, InP и Gap) и может быть использовано для ориентации монокристаллических слитков и пластин

Способ определения профиля мениска жидкости // 2108563

Изобретение относится к оптической контрольно-измерительной технике и может быть использовано для физико-химического анализа жидкостей и поверхности твердых тел, в частности для определения смачивающей способности жидкости, изучения процессов растекания и испарения жидкостей, для определения коэффициента поверхностного натяжения жидкостей

Способ снижения поверхностного натяжения жидкостей // 2114414

Изобретение относится к области физики поверхностей

Способ исследования диффузной границы фаз // 2119654

Изобретение относится к физике и химии поверхностных явлений и может быть использовано для определения параметров двойного электрического слоя на границе фаз

Способ измерения объема адсорбированных частиц в системе электрод - электролит // 2119655

Изобретение относится к физической химии

Устройство для определения маслянистости смазочных материалов // 2125256

Изобретение относится к области исследования материалов, а именно к устройствам для испытания смазочных масел

Устройство для измерения поверхностного натяжения жидкости // 2135981

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к пневматическим устройствам для измерения поверхностного натяжения жидкостей, и может найти применение в таких отраслях промышленности, как химическая, лакокрасочная и пищевая промышленность

Способ определения относительной моющей способности поверхностно-активных веществ // 2139518

Изобретение относится к области подготовки нефтей и разрушения водонефтяных эмульсий, стабилизированных природными эмульгаторами и различными видами механических примесей