Устройство для оптического контрол|я плоскостности поверхности деталей
О П И С А Н И Е 386238
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советскик
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 02.1П.1971 (№ 1626009/25-28) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 14.VI.1973. Бюллетень № 26
Дата опубликования описания 26.IX.1973
М. Кл. G 01Ь 11/30
Комитет ло делам изобретений и открытий лрн Совете Министров
СССР
УДК 531.71 (088.8) Авторы изобретения
Ю. Н. Костава, Э. П. Боярский, Г. Г. Иорх и В. Г. Козаев
Заявитель
Тбилисский научно-исследовательский институт приборостроения и средств автоматизации
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ
ПЛОСКОСТНОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛЕЙ
Изобретение относится к области контроля качества поверхности деталей и может быть использовано в производстве полупроводниковых приборов, Известно устройство для оптического контроля плоскостности поверхности деталей, содержащее предметный столик для укрепления проверяемой детали, источник света, световоды, воспринимающие лучи, отраженные от контролируемой поверхности, фотоприемники, подсоединенные к выходным торцам световодов, блок обработки электрического сигнала с фотоприемников.
Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что волокна световодов выполнены раздвоенными V-образной формы и составляют мозаичный экран, а выходные торцы раздвоенных световодов сгруппированы таким образом, что одни концы жгутов образуют сектор, а другие — кольцо мозаичного экрана, а устройство снабжено узлом координатного перемещения контролируемой детали, задающим и отслеживающим перемещение предметного столика, выход которого подсоединен к блоку обработки электрического сигнала.
Такое выполнение устройства повышает точность измере|ния.
Йа фиг, i изображена схема предлагаемого устройства; на фиг. 2 — световод, на фиг, 3-схема распределения волоконных жгутов световодов на мозаичном экране. и Устройство для оптического контроля пло. скостности поверхности деталей содержит предметный столик 1, источник света, напри. мер лазер 2, световоды 8, волокна которых выполнены раздвоенными V-образной формы
10 и образуют мозаичный экран 4, а выходные торцы раздвоенных световодов сгруппированы таким образом, что одни концы жгутов 5 образуют сектор, а другие — жгуты б — кольцо мозаичного экрана 4, фотоприемники 7, об15 разующие фотоэлектрический блок 8, блок 9 обработки электрического сигнала с фотоприемников 7 и узел 10 координатного перемещения контролируемой детали, задающий и отслеживающий перемещение предметного
20 столика 1.
Предлагаемое устройство работает следующим образом.
Проверяемую деталь 11 укрепляют на предметном столике l. Луч лазера 2 направляют
25 на соответствующую элементарную площадку под некоторым углом к поверхности детали
11, которую перемещают посредством узла 10 координатного перемещения. Отраженный луч попадает на входной торец того или иного волоконного световода 8 мозаичного экрана 4.
Любое отклонение отраженного луча от принятого нормального положения в ту или иную сторону свидетельствует о наличии дефекта на проверенной поверхности проверяемой детали 11. Это отклонение определяется положением отраженного луча на мозаичном экране 4.
По раздвоенным жгутам световода 8 отраженный луч попадает на соответствующую пару фотоприемников 7, с выхода которых на входы блока 9 обработки поступает два сигнала, На другие входы блока 9 поступают сигналы узла 10 координатного перемещения с информацией о координатах контролируемой элементарной площадки.
По разности углов отражения (нормального и фактического) судят о степени искривления поверхности детали, а количество уходов луча от нормального положения дает представление о числе дефектных участков.
Предмет изобретения
Устройство для оптического контроля плоскостности поверхности деталей, содержащее
5 предметный столик для укрепления проверяемой детали, источник света, световоды, воспринимающие лучи, отраженные от контролируемой поверхности, фотоприемники, подсоединенные к выходным торцам световодов, 10 блок обработки электрического сигнала с фотоприемников, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, волокна световодов выполнены раздвоенными V-образной формы и составляют мозаичный экран, 15 а выходные торцы раздвоенных световодов группированы таким образом, что одни концы жгутов образуют сектор, а другие — кольцо мозаичного экрана, а устройство снабжено узлом координатного перемещения контро20 лируемой детали, задающим и отслеживающим перемещение предметного столика, выход которого подсоединен к блоку обработки электрического сигнала.
Редактор Л. Василькова
Составитель В. Мартынов Техред T. Ускова
Корректоры: Л. Царькова и М. Лейзерман
Заказ 2707718 Изд. № 1681 Тира>к 755 Подписное
11НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4j5
Типография, пр. Сапунова, 2
