Наблюдательная система интерферометра

Авторы патента:

Ю. П. Контиевский

G01B9/02 - интерферометры

Oll MICAH HE

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

384000

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. G 01Ь 9/02

Заявлено 04.1.1970 (№ 1389685/26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 23.Ч.1973. Бюллетень ¹ 24

Дата опубликования описания 2Х111.1973

Комитет по делам изобретений н открытий при Совете йтинистров

СССР

УДК 535.411 (088.8) Автор изобретения

lO. П. Контиевский

Заявитель

НАБЛЮДАТЕЛЬНАЯ CHCTEMA ИНТЕРФЕРОМЕТРА

Изобретение относится к измерительным интерферометрам для контроля качества поверхности.

Известные интерферометры обеспечивают точность только до 0,01 полосы; измерения проводятся только в отдельных точках, по затрудняет контроль местных ошибок.

С целью повышения точности наведения на интерференционную полосу в предлагаемой наблюдательной системе интерфероме тра между линзами установлены под углом, отличным от 180, две плоскопараллельные пластины, причем линия пересечения поверхностей пластин, угол между которыми меньше

180, расположена в плоскости изображения интерференционных полос.

На чертеже приведена оптическая схема предлагаемой наблюдательной системы интер фер ометр а.

Задняя фокальная плоскость объектива 1 совмещена с передней фокальной плоскостью линзы 2. Между линзами 2 и 8 введены две расположенные под углом плоскопараллельные пластины 4 и 5. Ребро б, образованное пересечением поверхностей 7 и 8 пластин, расположено в плоскости 9, сопряженной с плоскостью 10 локализации интерференцчонных полос. Угол между поверхностями 7 и 8 меньше 180 . Передняя фокальная плоокость линзы 8 совмещена с .плоскостью 9. Интерференционная картина наблюдается глазом, помещенным за диафрагмой 11, расположенной в задней фокальной плоскости линзы 3.

Наведение на центр интерференционной по5 лосы осуществляется по фотометрическому уравниванию освещенностей по,разные cTQроны от,ребра б. Как известно, уравнивание освещенности можно вьпполнить с точностью 1 вЂ” 2%, а, это позволяет осуществлять

10 наведение на центр двухлучевой интерференционной полосы с точностью до нескольких тысячных долей расстояния между полосами.

15 Предмет изобретения

Наблюдательная система интерферометра, содержащая объектив, .две расположенные за его фокальной плоскостью линзы и устрой20 ство для регистрации центра интерференционной полосы, от.тчаюи аяся тем, что, с целью повышения точности наведения на интерференционную полосу, устройство для регистрации центра интерференционной полосы вы25 полнено в виде двух плоскопараллельных пластин, расположенных между линзами и образующих между собой угол, отличный от 180, причем линия пересечения поверхностей пластин, расположена в плоскости изображения

30 интерференционной картины.

Редактор И. Орлова

Составитель Л. Гойхман

Техред Л. Грачева

Корректоры: М. Гарцевич и И. Божко

Заказ 2141)2 Изд. № 1560 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4 5

Типография, пр. Сапунова, 2

Интерферометр для контроля качества плоской оптической поверхности детали // 380946

Устройство для измерения перемещения объекта // 376653

Интерференционный газоанализатор // 375531

Прибор для измерения радиусов кривизны и несферичности вогнутой сферической поверхности // 373520

Интерферометр для контроля качества оптических // 373519

Устройство для получения интерферограмм // 371420

Интерферометрическое устройство для оперативного контроля фазовых неоднородностей в прозрачных средах // 371419

Контактный интерферометр для измерения линейного перемещения объекта // 370454

Устройство для получения интерферограмм при изучении быстропротекающих процессов // 368474

Двухлучевой интерферометр для измерения показателя преломления изотропных и анизотропных материалов // 2102700

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения с высокой точностью показателей преломления изотропных и анизотропных материалов

Звездный интерферометр майкельсона // 2103662

Устройство для автоматизированного измерения угловых величин // 2112208

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для высокоточных измерений малых угловых перемещений в специальных геодезических работах, в точных геофизических измерениях и при производстве крупногабаритных изделий в качестве контрольно-измерительной аппаратуры

Интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых гиперболических зеркал // 2114390

Устройство для записи голографических интерферограмм // 2119644

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к двухэкспозиционной голографической интерферометрии, и может быть использовано при исследовании вибраций объектов, в том числе вращающихся, и других процессов

Устройство для измерения поверхностных характеристик // 2124701

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройству для измерения поверхностей и профилей с помощью интерферометрии

Способ обработки сигнала кольцевого интерферометра волоконно-оптического гироскопа (варианты) // 2130587

Изобретение относится к области волоконной оптики и может быть использовано при конструировании электронного блока обработки информации волоконно-оптического гироскопа, а также других датчиков физических величин на основе кольцевого интерферометра

Интерферометр перемещения // 2139496

Изобретение относится к интерферометрам и может быть использовано для абсолютного измерения линейной длины отрезков

Микрорезонаторный волоконно-оптический датчик концентрации газов // 2142114

Изобретение относится к волоконно-оптическим автоколебательным системам на основе микромеханического резонатора, возбуждаемого светом, и может быть использовано в системах измерения различных физических величин, например, концентрации газов, температуры, давления и др

Способ измерения квазипериода дифракционного распределения излучения от узкой щели // 2145054

Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению и может использоваться в скоростных дифрактометрах