Микроскоп

ОП И САН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

С Сове с х

Социалистических

Республик

Зависимое от авт, свидетельства №

Заявлено 02.IV.1971 (№ 1641687/18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 17ЛЧ.1973. Бюллетень № 18

Дата опубликования описания 12ХП.1973

М. Кл. т.т:02b 21/00

Комитет по делам изобретеиий и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 535.822.1(088.8) Авторы изобретения

В. Е. Фридман и Б. В. Телешов

МИКРОСКОП

4с ности хода лучей лри прохождении их через кристалл.

Для упрощения юстировки устройства компенсирующее устройство может быть установлено,между плоскостями объектов 4 и 5 и микрообъективом 1.

Устройство работает следующим образом.

Лучи от двух разнесенных плоскостей объектов 4 и 5 проходят через микрообъектив 1 и компенсирующее устройство 3. Луч от объекта 4 проходит путь ABCEF, а от объекта 5— путь ВСДР. При соответствующей толщине пластин б и 7 разность хода от плоскостей объектов 4 и 5 компенсируется.

Совмещенное изображение получается качественным, так как одноосные кристаллы практически не поглощают видимый, свет.

Микроскоп, содержащий объектив, окуляр и устройство для совмещения в одной плоскости .изображений д|вух плоских объектов, размещенных на различных расстояниях от объектива, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции, устройство для совмещения выполнено в виде двух склеенных одинаковых по толщине ллоскопараллельных пластин из одноосных кристаллов, например кальцита, оси которых наклонны одна к другой, Изобретение относится к,области оптических приборов, предназначенных, в частности, для контроля совмещения изображений при фотолитографических процессах в мик роэлектронике. 5

Из|вестны микроскопы, содержащие объектив, окуляр и устройство для совмещения .в одной плоскости изображений двух плоских объектов, размещенных на различных расстояниях от объектива. 10

Предлагаемый микроскоп отличается от известных тем, что в нем для упрощения конструкции устройство совмещения выполнено в виде двух склеенных, одинаковых ло толщине плоскопараллельных пластин из одно- 15 осных кристаллов, например кальцита, оси которых наклонны друг к другу.

Микроскоп (см. чертеж) содержит микрообъектив 1, окуляр 2 и устройство 3 для совмещения двух изображений плоских объек- 20 тов 4 и 5 в одну плоскость без нарушения масштаба.

Компенсирующее устройство 3 выполнено а виде двух склеенных плоскопараллельных пластин б и 7, одинаковых по толщине, полу- 25 ченных из одноосных кристаллов, например кальцита. Оси кристаллов б и 7 расположены под углом друг к другу таким образом, чтобы обеспечить двойное лучепреломление с максимальным разделением лучей на обык- 30 новенный и необыкновенный и создание разПредмет изо бр етеп ия

377714

Составитель Г. Литвин

Техред Т. Ускова

Корректор Е Зимина

Редактор С. Хейфиц

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1836/12 Изд. № 1408 Тираж 551 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская паб., д. 4/5