Устройство для подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов
37I62I
О П И СА Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сыз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 22Л!!.1971 (№ 1638212/24-7) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 22.11.1973. Бюллетень № 12
Дата опубликования описания 17.IV,.1973
М, Кл. Н 01с 17/ОО
Комитет по делам иаобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621 316 849(О88 8) Авторы изобретения
1О. Д. Чистяков, Л, А. Ермолаев, А. И. Мочалов, Г. A. Ф1танк....и В. А. Демьяненкт
Заявитель и
ll i т
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДГОНКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ
ПРЕЦИЗИОННЫХ РЕЗИСТОРОВ
Предмет изобретения
1
Изобретение относится к технологии микроэлектроники и предназначено для использования при изготовлении тонкопленочных прецизионных резисторов.
Известно использование для подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов лазера, снимающего часть резистивной пленки с резистора.
Применение лазера для подгонки тонкопленочных резисторов имеет следующие недостатки: дискретность изменения сопротивления, сложность в управлении процессом подгонки, низкую точность подгонки, не превышающую
0,1 %, больши е га б а риты.
Целью изобретения является упрощение процесса подгонки резисторов и повышение точности подгонки.
Указанная цель достигается тем, что в качестве устройства для механической подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов применен микротвердомер, например, типа
ПМТ-З.
Микротвердомер представляет собой устройство, состоящее из микроскопа с предметным столиком и механизма нагр ужения алмазного резца.
Предметный столик микротвердомера позволяет закрепить на нем с помощью его npu5 жимов подгоняемый резистор или резистивную схему.
Микроскоп микротвердомера позволяет с помощью микрометрических винтов предметного столика совместить центр окуляра мик10 ротвердомера, центр соприкосновения алм азной иглы и подгоночный участок резистора.
Перемещением предметного столика с помощью микрометрических винтов можно произвести скрабирование подгоночной части ре15 зистора алмазной иглой, обспечивающее точность подгонки не ниже &0,010/0.
Применение микротвердомера, например, типа ПМТ-3, в качестве устройства для механической подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов.