Устройство для подгонки величины сопротивления тонкопленочных резисторов

Авторы патента:

H01C17/232 - регулированием температурного коэффициента; доведение величины сопротивления регулированием температурного коэффициента

О П И С А Н И Е 338923

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. Н Оlс 17/00

Заявлено 10.1Ч.1970 (№ 1427179/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 15.Ч.1972. Бюллетень № 16

Дата опубликования описания 13.Ч1.1972

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.316.824(088.8) Авторы изобретения

Д. П. Колесников, 1О. E. Орешков и В, Г. Дубровский

Заявитель ЩД тО 1 - т

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДГОНКИ ВЕЛИЧИНЫ СОПРОТИВЛЕНИЯ

ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ

Предмет изобретения

Известно устройство для подгонки величины сопротивления тонкопленочных резисторов, содержащее генератор высокой частоты, рабочий электрод и блок контроля.

Цель изобретения вЂ” повышение точности подгонки величины сопротивления резисторов при их изготовлении. Достигается она тем, что в предлагаемом устройстве вблизи рабочего электрода расположен дополнительный электрод с зазором, обеспечивающим развязку рабочей .и поджигающей цепей. Кроме того, в него введен импульсный трансформатор, один конец обмотки которого соединен с дополнительным электродом, а другой вЂ” с контактной площадкой резистора.

На чертеже показано предлагаемое устройство.

Устройство состоит из рабочего электрода 1, дополнительного электрода 2 и контактных площадок 8. На клеммы 4 подается напряжение от генератора ВЧ, на клеммы б вЂ” синхронное с ним поджигающее напряжение с обмотки импульсного трансформатора. Между электродом 1 и регистром б оставлен зазор о>, между электродами 1 и 2 вЂ” зазор бз.

Принцип работы устройства состоит в следующем.

Импульс поджигающего напряжения, прикладываемый к зазорам 6 и бз, создает в них дополнительное поле высокой напряженности, при этом величину бз выбирают таким образом, чтобы цепь поджига не влияла .на рабочую цепь, что обусловливает возникновение плазмы только в рабочей цепи.

Длительность импульса поджига должна быть существенно меньше длительности рабо10 чего импульса.

15 Устройство для подгонки величины сопротивления тонкопленочных резисторов, содержащее генератор высокой частоты, рабочий электрод и блок контроля, отличающееся тем, что, с целью повышения точности подгонки

20 величины сопротивления, оно снабжено дополнительным электродом, расположенным вблизи рабочего электрода с зазором, обеспечивающим развязку рабочей и поджигающей цепей, и импульсным трансформатором, один

25 конец обмотки которого соединен с дополнительным электродом, а другой вЂ” с контактной площадкой резистора.

338923

Составитель Е. Чуркин

Техред Л. Богданова

Коррекгор Е. Михеева

Редактор Б. Федотов

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1753/Э Изд. № 659 Тираж 448 Подписное

11НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, K-35, Раушская,наб., д. 4j5

Устройство для подгонки величины сопротивления тонкопленочных резисторов

Похожие патенты:

Патент 162878 // 162878

Устройство для подгонки тонкопленочныхрезисторов // 341097

Устройство для подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов // 371621

Способ точной подгонки пленочных резисторов // 382152

// 402073

Узел крепления стекол к металлической оконной раме // 729331

Способ подгонки сопротивления проволочных резисторов // 907591

Способ изготовления резисторов // 1051591

Способ балансировки и температурной компенсации мостовых схем тонкопленочных тензорезисторных датчиков // 1373079

Способ изготовления проволочного измерительного резистора // 2504035

Способ изготовления резистора включает намотку резистивной проволоки на цилиндрический каркас двумя секциями различных типов проволоки, которые электрически соединяют металлическим хомутом. Место их соединения разделяет каркас в отношении, близком по предполагаемому отношению температурных коэффициентов сопротивления (ТКС) материалов проволоки секций, полученных по температурным характеристикам отжига. Осуществляют регулировку характеристики температурной зависимости сопротивления путем сматывания проволоки с каркаса. Выполняют термообработку резистора, добиваясь получения заданных ТКС резистивных секций различного знака, регулируя режим термообработки. Определяют отношение величин ТКС секций и поочередным сматыванием с них проволоки, используя промежуточные измерения сопротивлений секций, обеспечивают выполнение соотношений: R=R1+R2, где α1, α2 - ТКС секций; R1, R2, ρ1, ρ2 - их электрические и удельные сопротивления; n, m - количество витков первой и второй секций; R - полное электрическое сопротивление резистора, - таким образом, чтобы при сматывании сохранять установленную пропорцию витков секций, обеспечивая ТКС резистора равным нулю и доводя его полное сопротивление до номинального значения. Технический результат - достижение низкого абсолютного значения ТСК резистора и высокой точности доводки его сопротивления до номинального значения при упрощении способа изготовления резистора. 3 ил.