Способ контроля плоскостности прозрачныхдеталей

ОЙИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

357462

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт, свидетельства №вЂ”

Заявлено 15.Х.1970 (№ 1478665/26-25) М. Кл. С Ofh 9/02 с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 31.Х.1972. Бюллетень № 33

Дата опубликования описания 29.XI.1972

Комитет по делам изобретении и открьпий при Совете Министров

СССР

УДК 535.854(088.8) (4,,. :у,"тзнля

9йтанны И ".Г iVr&A

Ю. А. Концевой, С. М. Меньшиков, В. Д. Кудин, E. Н. Кудрявцев, В, В. Ульянов и В. В, Шемиот

Авторы изобретения

Заявитель

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ ПРОЗРАЧНЫХ

ДЕТАЛ ЕЙ

Изобретение относится к области контроЛьш х испытаний и предназначено для проверки плоскостности прозрачных деталей, Известные способы контроля плоскостности прозрачных объектов интерференционным методом либо не позвол lloT избавиться от паразитных интерференционных картин, обусловленных отражением Вь!сококогеpентного света от противоположной контролируемой поверхности детали, либо требуют, применения специальных иммеpclroHrrr lx жидкостей, что не всегда возможно.

Цель изобретения — выделение интерференционной картины, соответствующей контролируемой поверхности.

Цель достигается тем, что по предлагаемому способу для подавления паразитных интерференционных картин используют угловую вибрацию падающего на контролируемую деталь светового пучка, Иа чертеже с. ематически изооражено усгройство для контроля плоскостности прозрачных деталей, позволяющее реализовать предлагаемый способ.

Свет от высококогерентного источника 1, например газового лазера, коллимируется коллиматором 2 в пучок необходимого сечения и системой зеркал 8, 4, 5 направляется на интерференционный узел, состоящий из стеклянной детали 6 с эталонной нижней повсрхностью и проверяемой детали 7 с контролируемой верхней поверхностью. На матовом экране 8 наблюдают интерференционную картину, которая образуется в результате взаимо5 действия лучей, отраженных от эталонной и контролируемой поверхностей. Однако на полезную интерференционную картину наложен ряд паразитных, вызванных интерференцией лучей, отраженных от верхней и нижней по1р верхностей проверяемой детали, от эталонной поверхности и нижней поверхности детали 7 и т. д., в результате чего расшифровка полезной интерференционной картины сильно затруднена и не всегда возможна, 15 Если задать ггадающему пучку угловые колебания с,периодом, меньшим постоянной времени приемника световой энергии (например, 1/25 сея при наблюдении глазом), то интерференционные картины начинают размы2р ваться, причем тем сильнее, чем больше разяость хода между интерферирующими лучами.

При изменении разности хода за один период колебаний больше, чем на половину длины световой волны, пнтерференционная кар25 тина совсем исчезает. При плавном увеличении амплитуды колебаний в первую очередь пропадают Ilàðàçèòrrûå интерференционные картины, обусловленные большой разностью хода; размытие полезной интерференционной

30 картины практически незаметно, поскольку

357462

Составитель Б. Арлов

Техред А. Камышиикова

Корректор 3. Тарасов1

Редактор И. Орлова

Заказ 3827/6 Изд. _#_0 1666 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Я-35, Раушская паб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 разность хода образующих ее лучей во много раз меньше, чем у остальных; после этого расшифровать интерференционпую картину обычными методами не,представляет затруднений.

Предмет и з: î р етен и я

Способ контроля плоскостности прозрачных деталей, основанный на интерференционном методе полос равной толщины с применением источника монохроматического света, например лазера, отличающийся тем, что, с цель|о выделения интерференционной картины, сооТветствующей контролируемой поверхности, контролируемую поверхн cTb располагают вблизи эталонной поверхности на расстояний, значительно меньшем толщины проверяемой детали, наблюдают сложную интерференционную картину, затем воз буждают в плоскости падения света угловые колебания коллимированного светового пучка, направляемого на контролируемую поверхность, с периодом, меньшим постоянной времени приемника излучения, и постепенно увеличивают амплитуду

10 колебаний, добиваясь размытия побочных ичтерференционных картин, после чего обычными методами по оставшейся четкой интерференционной картине определяют плоскостность контролируемой поверхности.