Всесоюзная пдтшно-^^^^^''''^^'^^^^'
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
365238
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 12. I I.1971 (№ 1620964/25-8) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 08Л.1973. Бюллетень № 6
Дата опубликования описания 21.Ш.1973
М. Кл. В 23q 1/14
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 62-229.311(088.8) Авторы изобретения
H. И. Фейгинов, Г. И. Зайдель и Н. А. Бабицкий
ФС СО : НЮ тз х"„ f. ДЦ
Заявитель я щтСКА
ДВУХКООРДИ HATH Ы Й СТОЛ
Изобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам, осуществляющим точные шаговые перемещения по двум координатам, и используется при производстве полупроводниковых и микроэлектронных приборов.
Известны двухкоординатные столы, по направляющим основания которых от приводного двигателя, жестко закрепленного на основании, перемещаются по одной из координат промежуточные салазки со вторым приводным двигателем, несущие направляющие для предметной плиты.
Предлагаемый стол отличается от известных тем, что второй приводной двигатель также жестко закреплен на основании, а ходовая гайка приводимой им пары винт-гайка подвижно связана с жестко соединенным с предметной плитой кронштейном, проходящим через окно, выполненное в промежуточных салазках. ,Такое выполнение позволяет повысить точность и скорость координатных перемещений и уменьшить инерционные моменты перемещаемых масс.
На чертеже показана схема предложенного двухкоординатного стола.
Стол состоит из предметной плиты 1 с кронштейном 2, промежуточных салазок 8, основания 4, приводных двигателей 5 и б, соединительных муфт 7 и 8, передач винт 9— гайка 10 и винт 11 — гайка 12 и линейки 18.
Перемещение предметной плиты по координате У осуществляется вместе с промежуточ5 ными салазками через ходовую гайку 12 и винт 11, соединенный муфтой 8 с выходным валом двигателя б. Перемещение предметной плиты по координате Х осуществляется от двигателя б через муфту 7, винт 9, гайку 10, 10 которая удерживается от проворота линейкой.
Гайка 10 имеет ведущий палец, входящий в паз кронштейна, проходящего через окно в салазках. Паз кронштейна вставлен параллельно направляющим по координате У, что
15 обеспечивает постоянство координаты Х при перемещении предметной плиты по этой координате.
Предмет изобретения
Двухкоординатный стол, по направляющим основания которого от приводного двигателя, жестко закрепленного на основании, перемещаются по одной из координат промежуточ25 ные салазки со вторым приводным двигателем, несущие направляющие для предметной плиты, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и скорости координатных перемещений и уменьшения инерционных мо30 ментов перемещаемых масс,:второй приводной
365238 ненным с предметной плитой кронштейном, проходящим через окно, выполненное в промежуточных салазках.
° у
Составитель Г. Довнар
Техред Т. Миронова
Редактор М. Макарова
Заказ 545/10 Изд. № 1120 Тираж 888 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 двигатель также жестко закреплен на основании, а ходовая гайка приводимой им пары винт-гайка подвижно связана с жестко соедиКорректоры: Л. Бадылама и Т. Гревцова

