Термоэлектронный катод

Q Il И С A H И E 364037

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

"оциаттистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства М—

М.Кл. Н Olj 1/14

Заявлено 14.ХI I.!970 (№ 1498812/20-25) с присоединением заявки .—

При оритствЂ

Комитет по яепзм изобретений и открытиЯ при Совете Министров

СССР

Опубликовано 25.Х 11.1972. Бюллетень,М 4 за 1973.

Дата опубликования описания 2.111.1973

У Д V, G21.385.032.21 G (088.8) Авторы изобретения

И. А. Донской и В. %. Коптев

Заявитель

ТЕРМОЭЛЕКТРОННЫЙ КАТОД

Прсдмет изобретения

Изобретение относится к области катодной электроники, в частности к технике изготовления термоэлектронных катодов для электронных ионизационных манометрическпх датчиков.

В настоящее время в понизацпонных манометрах применяют оксидно-иттриевые катоды с иридиевым керном. Однако эти катоды имеют высокую рабочую температуру (1400 — 1500 С). Кроме того, при использовании ионизационного манометра с оксидно-пттриевым катодом в присутствии распыляющегося металла (различного рода папылптельные установки, вакуумные системы с геттерноионными средствами откачки) возможен выход манометра из строя из-за повышения эмиссионной активности катода в результате запыления его поверхности металлом, обычно III u

IV групп периодической системы, например скандием, лантаном, самарием, иттрием, титаном.

Цель изобретения — снижение рабочей температуры термокатода ионизационного манометра и предотвращение выхода его из строя при запылении указанными металлами.

Это достигается путем введения в активное эмиссионное покрытие оксидно-иттриевого катода металла III или IV группы периодической системы, подгруппы скандия и титана, либо в виде мелкодисперсного порошка металла

2 с размером частиц 1 — 5 якхт, либо в виде химического соединения, диссоциирующего в процессе термообработки катода (например, гидрида) в количестве 1 — 5 вес. % в расчете

5 па металл.

Предлагаемьш способ не вносит существенных усложнений в технологию изготовления оксидно-пттриевых катодов.

На чертеже приведены вольт-амперные xa)p рактеристикп при температуре 1300 С оксиднопттриевого катода с добавкой титана — кривая 1; оксидно-иттриевого катода с добавкой лантана — кривая 2; оксидно-иттриевого катода — кривая 8.

15 При сравнении кривых видно, что введение в покрытие титана и лантана позволяет получать с катода больший ток термоэлектронной эмиссии по сравнению с чистой окисью иттрия в режиме насыщения.

Опытная эксплуатация катодов предлагаемых типов в условиях распыления металлов выявила пх существенные преимущества.

Термоэлектроп ый катод па основе окиси иттрия для электронных приборов преимущественно ионизациопных манометров, отличатоп1ийся тем, что, с целью повышения эмпссион;;о ной активности катода и предотвращения вы364037

/ г

0,25

0,2 д,/5

О,/

005

50 f00 l50 200 ло „,"7ãä

Составитель Г. Жукова

Редактор И. Грузова Тсхрсд Л. Куклина 1(орректоры Г. Запорожец н Н. Стельмах

Зак. № 202 Изд. зак. 1078 Тираж 404 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-З5, Раушская наб., д. 4/5

Загорская типография хода его из строя при использовании в условиях распыления металлов ША или IVA групп гн рподической системы, указанный металл введен в эмиссионное покрытие в количестве

1 — 5 вес. о о.