Способ изготовления микроминиатюрных
Q П И С А Н И Е 362368
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 22 If.1971 (№ 1626483/26-25) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет
M. Кл. Н 01j 9/02
Н 011 1/З0
Комитет по делаю изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621 385(088 8) Опубликовано 13.XII.1972. Бюллетень ¹ 2 за 1973 г.
Дата опубликования описания 25.1.1973
Авторы изобретения
Э. М, Мушкарден, А. Ф. Кожухарь и В. A. Якимов
Львовский ордена Ленина политехнический институт
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОМИНИАТЮРНЫХ
ЭМИССИОННЫХ ПРИБОРОВ С ХОЛОДНЫМ
КАТОДОМ
Известен способ изготовления микроминиатюрных приборов с автоэлектронной эмиссией с использованием пленочной технологии.
Специально выполняемый рельеф подложки ,позволяет в результате косого напыления получать автоэмиссионные приборы с микронными промежутками.
По предложенному способу для упрощения технологического процесса электроды прибора формируются из цельной, предварительно закрепленной заготовки, взятой в виде проволоки, ленты или тонкой пленки, подвергающейся локализованному электрохимическому анодному перетравливанию в электролите с автоматической остановкой процесса по достин ении требуемой величины межэлектродного промежутка. Катодом в электрохимическом процессе служит острый вспомогательный электрод, располагаемый вблизи к перетравливаемому месту заготовки.
На чертеже изображена схема для реализации способа, где:
1 — основание для крепления заготовки;
2 — перетравливаемая заготовка (анод); у — вспомогательный электрод (катод);
1 — электролит; б — отключающее устройство; б — регулируемый источник питания;
7 — нормально-замкнутые контакты отключающего устройства.
Предназначенную для изготовления микроприбора заготовку в виде отрезка проволоки, ленты или тонкой пленки укрепляют любым подходящим способом, например пайкой или
5 склеиванием, на основании из изоляционного материала, хорошо согласующегося IIQ температурному коэффициенту с материалом заготовки. Одновременно на том же основании в средней его части укрепляют вспомогатель10 ный электрод, предназначенный для локального электрохимического травления заготовки. В качестве вспомогательного электрода может быть взято тонкое металлическое лезвие или тонкая проволока. Толщина лезвия
15 (диаметр проволоки), а также размер зазора между заготовкой и катодом должны быть взяты настолько малыми, насколько требуется локализировать размеры области интенсивного травления.
20 Заготовка и вспомогательный электрод включаются в схему согласно чертежу. В качестве отключающего устройства используется любое устройство, реагирующее на изменение сопротивления перетравливаемой загс25 товки, увеличивающееся по мере продолжительности процесса. Резкий скачок сопротивления происходит в момент образования межэлектродного промежутка. В отключающем устройстве должна быть предусмотрена воз30 можность регулировки уровня срабатывания.
362368
I !
Составитель Н. Дудкинс
Тсхред, Т. Миронова
Редактор И. Коган
Корректоры: Т. Медведева и Н. Стельмах
Заказ 199/14 Тираж 404 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Отклоняющим устройством мокнет оыть, например, схема, cOcTOHII .ÿÿ из .ilocTB сравненияя, электронного усилителя с регулировкой уровня срабатывания и исполнительного реле, контакты которого размыкают цепь травления. Размеры вытр",âëåííîé в заготовке области зависят от выбранного начального зазора сзаготовка — вспсмогательный электрод», от их размеров и уровня срабатывания отклоняющего устройства.
Способ дает возможность получать зазоры в интервале 0,5 — 500 лкл.
Предмет изобретения
Способ изготовления .аикроминиат:орпых эмиссионных приборов с холодны..l катодом с помощью электрохимического травления, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологического процесса, цельную заготовку предварительно закрепляют на изоляционном основании, устанавливают вспомогательный электрод, концентрирующий электрическое поле в электролите у заданного участка
10 поверхности заготовки, и электрохимически перетравливают заготовку на этом участке с автоматическим прекращением процесса по достижении желаемой величины межэлектродного промежутка.
