Способ повб1шения стабильности автоэмиссионныхкатодов

О П И СА Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

М. Кл, Н 01j 1/30

Заявлено 10.Х.1970 (№ 1485421/26-25) с присоединением заявки ¹â€”

Приоритет

Опубликовано 03,Х1.1972. Бюллетень ¹ 34

Дата опубликования описания 25.1.1973

Комнтет по делам наобретеннй н открытий прн Совете Министров

СССР

УДК 621.385.032.212 й(088.8) Авторы изобретения

СО,З .Н4Я

М1ИМ- й! М "..: HA

БЦБ.У1ИО х КА

Ж. И. Драиова, И. М. Михайловский и В. Б. Кулька ВС"и

Заявитель

СПОСОБ ПОВЪ|ШЕНИЯ СТАБИЛЬНОСТИ АВТОЭМИССИОННЫХ

КАТОДО В

Изобретение относится к способам повышения стабильности автоэмиссионных катодов при эксплуатации в высоком вакууме (р)10 —" торр).

Для повышения стабильности и срока службы автоэмиссиопньсх катодов при эксплуатации их в низком и среднем вакууме обеспечивают разрушение плотных адсорбированных слоев и миграционное восстановление геометрии вершин острий путем подогрева автокатодов до 800 †20 С. Однако при использовании многоигольчатых катодов трудно добиться одинаковой температуры на поверхности катода и необходимо создать интенсивный теплоотвод.

Согласно предложенному способу, для повышения стабильности автокатодов в рабо1ую вакуумную камеру, в которой расположен автокатод, вводится инертный адсорбцнонно неактивный га. (например, неон, гелий) до давления, на один — два порядка превышающего давление остаточных газов (Ор, СО, N2и др.). При этом пе нужен ни высокотемпературный разогрев катода, ни термостатировапис системы.

Подбирая соотгетствующес соотношение парциальпых давлений инертного и остаточного газов, обеспечивают формирование и поддержание в процессе работы свободной от адсорбированных атомов атомногладкой поверхности. Так, если игольчатый автокатод при давлении осгаточного газа 10 †торр имеет на поверхности микровыступы и адсорбированные атомы, то напуск в систем с неона до давления 10 †" торр и эксплуатация в постоянном режиме при токе -50 яка приводит к очистке в течение 1 — 2 чин поверхности и формированию вследствие поверхностной миграции, активнрованной ионной бомбардировкой, атомногладкой «перестроенной» поверхности.

Сняты временные зависимости эмиссионного тока при эксплуатации в смеси газов, содержаитих Ne и Не. Если удалить инертный газ из системы при давлении остаточных газов 10 ††10 †" торр, то резко увеличиваются флуктуации тока, что приводит, как правило, 20 к разрушеншо эмпттеров, Предмет изобретения

Способ повышения стабильности автоэмиссионных катодов при работе их в вакууме, от25 лачающаася тем, что в вак сумнчю камер вводят инертный газ, например неон, до давления, на один — два порядка превышающего давление остаточных газов.