Патент ссср 266077
ОП ИСАНИ Е 26607У
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Кл. 21g, 13/17
Заявлено 06.Х.1967 (№ 1187965/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 17.111,1970. Бюллетень ¹ 11
Дата опубликования описания 6ХП.1970
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Мииистрав
СССР
МПК Н 011
УД К 621.385.632/633 (088.8) P. П. Матафонов и В. А. Судак@в
1 .i
Авторы изобретения
Заявитель
1 д I
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОННЬ1Х ПРИБОРОВ СВЧ
Изооретение относится к ооласти технологии изготовления электронных при боров С ВЧ типа ламп бегущей и обратной волны (ЛБВ и ЛОВ). Для обеспечения стабильной работы этих приборов, необходимо размещение внутри них локальных поглотителей, вносящих затухание определенной величины. Локальные поглотители могут быть выполнены в виде слоя поглощающего материала, нанесенного на замедляющую систему или на ее диэлектрические держатели.
В известных ЛБВ и ЛОВ, имеющих замедляющую систему спирального типа, локальный поглотитель наносится Обычно двумя способами:
1) на диэлектрические держатели спирали перед сборкой высокочастотного блока;
2) на спираль и диэлектрические держатели спирали в собранном высокочастотном блоке перед сборкой прибора.
Существенным недостатком первого способа является то, что затухание, вносимое потлотителем, очень критично к зазору между покрытием и спиралью, поэтому неизбежен брак готовых приборов по коэффициенту;затухания, При втором способе нанесения локального потлотителя приходится пользоваться сложной технологией, чтобы обеспечить постоянство затухания, вносимого локальным поглотителем перед сборкой и в откачанном приборее.
Использование этих способов не позволяет получить: хорошую повторяемость по величине сопроти|вления наносимой на держатели спирали пленки, а следовательно, и по величине затухания, вносимого локальным поглотптелем; локальный поглотитель короче 15 — 20,и ц, 10 что необходимо в лампах миллиметрового и с болышим:замедлением сантиметрового диапазона длин волн.
Кроме того, затухание, вносимое локальным поглотителем, нельзя изменять в откачанном
15 приборе, в то время как в некоторых случаях (например, в малошумящпх ЛБВ) желательно подбирать определенную величину затухания, вносимого локальным поглотителем, для оптимизации основных характеристик (коэф20 фициента шума, коэффициента усиления, амплитудной характеристики, горячего к.с. в.н.).
Цель изобретения — упрощение техноло гии изготовления электронных приборов. Достигается это тем, что нанесение локального по25 глотнтеля производят после отка1скп в готовом приборе термическим распылением металла из испарителя, расположенного внутри лампы. Величина затухания, Bíocèìoãо локальным поглотителем, может контролидо30 Ваться в процессе нанесения локального по266077
Составитель Л, Фролова
Редакгср Н. Михайлова Техред А. A. Камышиикова Корректор Л. И. Гаврилова
Заказ 1712/1 " Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий .при Совете Министров
Москва Я-35, Рауп скаи иаб., д. 4 5
Типографии, lip Сап)иова, 2 глотителя обычным способом, >! ñïîëüçóåìûì в готовых приоорах СВЧ путем измерения ослабления СВЧ-сигнала, проходящего через прибор. При этом могут измеряться необходимые параметры прибора (коэффициент шума, коэффициент усиления и т. д.).
Локальный поглотитель наносится, например, распылением титана на спираль и диэлектрические держатели спирали. Длина поглотителя может быть сделана практически любой. Технология нанесения поглотителя проста.
Использование предложенного способа позволяет увеличить процент выхода годных приборов; улучшить коэффициент шума, коэффициент усйления, к.с.|в.н. приборов; получить нужное затухание, вносимое локальным потлотителем, с точностью +- 0,5 дб; наносить несколько локальных поглотителей (например, два), при этом зная, какое затухание:вносит ка жды и поглотител ь в отдел ьн о сти.
Таким образом, использование предлагаемого способа нанесения локального поглотителя повы ша T чувствительность и надежность пр и боров.
На чертеже показана конструкция ЛБВ, изготовленной по предложенному спосооу.
Внутри корпуса 1 ЛВВ установлена спиральная замедляющая система 2, закрепленная при помощи диэлектрических держателей
8. Локальный поглотитель 4 наносится распылением титана из испарителя 5 на спираль1О ную систему 2 и диэлектрические держатели
8 через диафрагму б.
Предмет изобретения
Способ изготовления электронных приборов
СВЧ типа ламп бегущей или обратной волны, .включающий на несение локального поглотителя на замедляющую систему и ее держатели, сборку арматуры и от качку, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления, нанесение локальното поглотителя производят после откачки в готовом приборе термическим распылением металла из испарителя, расположенного внутри лампы, с одновременным контролем величины затухания.
