Способ изготовления оптической дифракционной решетки

В 1;. (р» .»pp, »» = % йА ;= "

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ПАТЕНТУ

36I598

Союз Саветскик

Социалистических

Республик

Зависимый от патента №

Заявлено 18.Х11.1968 .(ле 1291510/26-25)

Приоритет 20.I,1968, № P 1622834.5, ФРГ

М. Кл. G 02Ь 5/18

Комитет по делая изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Опубликовано 07.Xll 1972. Бюллетень № 1 за 1973 г.

Дата опубликования описания 30.1.1973

УДК 535(088.8) Авторы изобретения

Иностранцы

Иоханнес Хайденхайн, Хорст Буркхардт и Хайнц Краус (Федеративная Республика Германии) Иностранная фирма

«Др. Иоханнес Хайденхайн> (Федеративная Республика Германии) Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

ОПТИЧЕСКОЙ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ

Изобретение относится к оптико-механической промышленности и может быть использовано при изготовлении рельефных дифракционных решеток.

Известен способ изготовления оптической дифракционной решетки путем экспозиции фотопластины световым потоком, падающим на нее через амплитудную решетку — оригинал. Этим способом получают только плоские амплитудные решетки — фотокопии оригинала.

Предложенный способ позволяет изготовить дифракционную решетку с рельефным профилем заданной формы благодаря тому, что фотопластину перемещают относительно параллельных полос света, проникающего сквозь щели оригинала, по заданной траектории, при этом скорость движения и интенсивность экспонирующего света изменяют в соответствии с формой рельефа. Затем удаляют неэкспонированные участки фотослоя пластины вытягиванием и получают решетку с рельефным профилем.

Кроме того, фотопластину могут соединять с оригиналом без зазора и поворачивать относительно оси, параллельной полосам света, на такой угол, чтобы начальное и конечное положения лучей света, прошедших через оригинал и попавших в фотослой, ограничивали заданный профиль рельефа.

На фиг. 1 показано положение фотопласти5 ны с оригиналом относительно светового потока; на фиг. 2 — график, характеризующий изменение скорости перемещения v фотопластины относительно полос света (s — величина перемещения); на фиг. 3 — график, 10 характеризующий изменение интенсивности света 1 в процессе перемещения фотопластины; на фиг. 4 — начальное и конечное положения фотопластины с оригиналом при их совместном повороте относительно падающего

15 света; на фиг. 5 — готовое изделие — фотопластина с треугольным рельефным профилем.

Фотопластину 1 (см. фиг. 1) поворачивают светочувствительным слоем к оригиналу 2, 20 представляющему собой амплитудную решетку с прозрачными параллельными щелями 8 или интерференционными полосами.

Фотопластину устанавливают перед ориги25 налом, на который падает параллельный пучок света 4, с минимальным зазором, обеспечивающим свободное перемещенне фотопластины поперек щелей оригинала с помощью микронривода, например .пьезоэлектрического

30 или магнитострикционного. Ширина щелей

361598

Фиг 5 оригинала определяется необходимой точностью выполнения рельефного профиля.

Для изготовления рельефной решетки перемещают фотопластину по стрелке А поступательно или вращают ее относительно оси, параллельной щелям 8, изменяя ее скорость по определенному закону (см. график на фиг.2) для получения заданного профиля почернения участков фотослоя, при этом изменяют и интенсивность экспонирующего света (см. график на фиг. 3). Неэкспонированные участки фотослоя пластины удаляют вымыванием, и после проявления получают рельефный профиль заданной формы, который может быть закреплен, например, металлизацией.

Треугольный профиль на фотопластине (см, фиг. 4) может быть получен, если ее соединяют с оригиналом, имеющим щели, без зазора и совместно поворачивают относительно оси, параллельной щелям, на такой угол, чтобы лучи света, прошедшие через щели, описали внутри фотослоя треугольники необходимой величины.

Получают почернения на фотослое треугольной формы с вершиной, лежащей у щелей.

Предмет изобретения

1. Способ изготовления оптической дифракционной решетки путем экспозиции фотопластины световым потоком, падающим на нее через амплитудную решетку — оригинал, отличающийся тем, что, с целью получения на изготовляемой решетке рельефного профиля заданной формы, фотопластину перемещают

10 относительно параллельных полос света, проникающего сквозь щели оригинала, по заданной траектории, при этом скорость движения и интенсивность экспонирующего света изменяют в соответствии с формой рельефа, 15 затем удаляют неэкспонированные участки фотослоя пластины вымыванием, получая рельефный профиль решетки.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью получения треугольного рельефного

20 профиля, фотопластину соединяют с оригиналом без зазора и поворачивают совместно относительно оси, параллельной полосам света, на такой угол, чтобы начальное и конечное положения лучей света, прошедших через

25 оригинал и попавших в фотослой, ограничивали заданный профиль рельефа.

361598

Фа г. 5

Составитель Л. Гойхман

Техред А. Евдонов

Редактор Т. Орловская

Корректор Т. Гревцова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 70/16 Изд. № 76 Тираж 403 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5