Тонкопленочный магнитный элемент
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
347796
Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”
Заявлено 17.VIII.1971 (№ 1684913 18-10) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет—
Опубликовано 10.VIII.1972. Бюллетень ¹ 24
Дата опубликования описания 04.Х.1972
Ч. Ь;л. G 11с 11/14
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
3Д,К 621.318.1(088.8) Авторы изобретения
М. И. Гришечкии, Т. Ф. Мартыненко и Ю. Н. Добротин
Заявитель
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ МАГНИТНЫЙ ЭЛЕМЕНТ
Изобретение относится к статическим чакопителям информации, а именно к Tонкопле ночным магнитным элементам.
Известны тонкопленочные магнитные элементы, у которых пстдложка выполнена из сплава алюминия и марганца, содержащие также слой сплава никеля, железа и кобальта, сопряженный со слоем моноокиси кремния.
В таких элементах увеличение однородности их параметров связано с одновременным уменьшением порога разрушения информации.
Цель изобретения — увеличение однородности параметров тонкопленочного магнитного элемента при одновременном увеличении порога разрушения информации.
Для этого в предлагаемый элемент введены слой алюминия, размещенный между подложкой и слоем моноокиси кремния толщиной 0,5 — 1,5 мк, и дискретные вкрапления меди в слое сплава никеля, железа и кобальта, имеющем толщину 0,04 — 0,13 мк. Слой алюминия выполнен с периодом поверхностной шероховатости 0,1 — 10 мк, а дискретные вкрапления меди — с толщиной 0,001—
0,0055 мк.
На чертеже изображен один из возможных вариантов предлагаемого тонкоплечочного магнитного элемента.
На подложке 1 из сплава алюминия и марганца, содержащего 98,6% алюминия и
1,4% марганца, размещен слой 2 алюминия толщиной 0,05 — 0,07 лтк, имеющий период по5 верхностной шероховатости 0,1 — 10 мк.
Между слоем 2 алюминия и слоем 8 сплава никеля, железа и кобальта, выпол: енныхт толщиной 0,04 — 0,13 мк. расположе:I слой 4 моноокиси кремния, имеющий толщину 0,5—
10 1,5 мк. Внутри слоя 8 на расстоянии 0,2—
0,65 мк от слоя 4 размещены дискретные крапления 5 меди толщиной 0,001 — 0,0055 мк.
Наличие слоя 2 «люм:птия с периодом поверхностной шероховатости 0,1 — 10 ттк и дис1 кретны. вкраплений 5 меди приводит к уменьшению разброса и".ð«÷åTðîâ тонкопленочного магнитного элемента и одновременному увеличению псгога разрушения и: формацгги.
Предмст изобрете:III>I
Тонкопленочный магнитный элемент, содержащий подложку из сплава алюминия и марганца, слой сплава никеля, железа II ко25 бальта и слой монсокисп кремния, от.личатоитийся тем, что, с целью увеличения однородности параметров тонкопленочного магнитного элемента при одновременном увеличении порога разрушения информации, в него введены слой
30 алюминия. размещенный между подложкой и
347796
Составитель Ю. Розенкранц
Техред Т. Ускова Корректор Е, Зимина
Редактор Т. Иванова
Заказ 394/1555 Изд. № 1107 Тираж 406 Подписн<
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Тпп. Харьк. фил. пред. <Патент» слоем моноокиси кремния, имеющи1м толщину 0,5 — 1,5 мк, и .дискретные вкрапления меди, расположенные внутри слоя сплава никеля, железа и: ооальта, имеющего толщину
0,04 — 0,13 мк, причем слой алюминия выполнен с периодом поверхностной шероховатости 0,1 — 10 мк, а дискретные вкрапления меди — с толщиной 0,001 — 0,0055 мк.
