Вакуумный вентиль

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Со@а Соавтскна

"Соцналнстнчвскн1

Республик

Зависимое от авт. свидетельства

Заявлено 20.V11.1970 (№ 1459945/25-8) с присоединением заявки, №

Пр иоритет

Опубликовано 07.V11.1972. Бюллетень № 21

Дата опубликования описания 15.VIII.1972

М. Кл. F 16k 1/,34

F 16k 11/18

F 16k 41/10

Котеитет ло делан изобретений н открытий при Совете Министров

СССР

УД К 621,646 (088.8) Авторы изобретения

Заявитель

H. С. Гринеико и А. Е, Янов

Физико-технический институт низких температур

AH Украинской ССР

ВАКУУМНЫЙ ВЕНТИЛЬ

Изобретение относится к запорной арматуре, применяемой в высоковакуумной технике.

Известны высоковакуумные вентили с перекрывающими каналы рабочей полости и полости защитного вакуума для систем сверхвысокого вакуума с двумя сильфонами клапанами, укрепленными и подвижными от самостоятельных приводов.

Предлагаемый вентиль отличается тем, что канал рабочей полости отделен от полости защитного вакуума корпусом с седлом под запорный орган клапана, расположенного соосно с каналом рабочей полости, также перекрываемым своим клапаном.

Кроме того, в вентиле установлена крьцпка герметизации полости защитного вакуума, не связанная с механизмом запирания клапанов.

Применение вакуумных вентилей позволяет в период запуска двустенной камеры производить откачку всей вакуумной системы одним насосом, предназначенным в дальнейшем для создания защитного вакуума.

На фиг. 1 изобра;кен предлагаемый вентиль в разрезе, общий вид; на фиг. 2 — схематически изображена установка вентиля на двустенной камере.

Вакуумный вентиль содержит корпус 1 с двумя фланцами и двумя седлами и клапаны 2 и 8, Корпус 1 при помощи ребер 1 соединен жестко с кожухом 5. Кожух имеет фланец для установки вентиля на камере ч патрубок для подсоединения к системе откачки, фланец с центрирующим буртиком для установки корпуса б с механизмами управления клапанами и место для установки крышки 7 герметизации. Герметизация осуществляется при помощи металлической прокладки. Вакуумная плотность при перемещении клапанов 2 и 8 обеспечивается стальными сильфонами 8 и 9. Сильфон 9 одной стороной при помощи вакуумной сварки соединен с крышкой герметизации, другой — с корпусом 10 клапана 8. Сильфон 8 одной стороной — с корпусом 10 клапана 8, другой — со штоком 11 клапана 2. Запиранпе вентиля осуществляется вдавливанием медных клапанов

2 и 8 в седла корпуса 1. Перемещение клапана 2 достигается zDIr I eHHeit штока при вращении гайки 12, перемещение клапана 8—

2о кольцом 18 при вр "ùåíèè винта 14. Кольцо тремя тягами 15 жестко соединяется с корпусом 10 клапана 8. Для уменьшения спл трения, установлены шарикоподшипники 1б и 17.

Необходимая центровка, направленность движения клапанов 2 и 8 обеспечивается направляющими штока и тяг в корпусе б, который, в свою очередь, центрируется относительно седсл корпуса 1 на кожухе.

Откачивающая система подсоедпнена к па30 трубку 18 (см. фиг, 2) при открытых клапанах 2 и 8 производит откачку всей вакуум344196 юг. / ной системы камеры в период запуска, в дальнейшем при закрытом клапане 3 производит откачку только из полости между камерами, т. е. создает защитный вакуум в двустенной камере. К патрубку 19 подсоединяется другая откачивающая система, которая производит откачку рабочего объема двустенной камеры при открытом клапане 2 и закрытом клапане 8.

Предмет изобретения

1. Вакуумный вентиль для систем сверхвысокого вакуума с двумя перекрывающими каналы рабочей полости и полости защитного вакуума клапанами, уплотненными сильфонами и подвижными от самостоятельных приводов, отличающийся тем, что, с целью получения чистоты вакуумирования, канал рабочей полости отделен от полости защитного вакуума корпусом с седлом под запорный орган клапана, расположенного соосно с каналом рабочей полости, также перекрываемым своим клапаном.

2. Вентиль по п. 1, отличающийся тем, что в нем установлена крышка герметизации полости защитного вакуума, не связанная с механизмом запирания клапанов, 344196

Фиг 2

Составитель T. Журавлева

Техред Л. Богданова

Редактор Т. Шагова

Корректор Е, Миронова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 2582;8 Изд. Kv 1096 Тираж 406 Подписное

11Н1111П1.1 Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раугпская наб., д. 4i5