Электрохимической обработки
О П И С А Н И Е 342943
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВЫДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 23.Ч11.1969 (№ 1352215/22-1) М. Кл. С 23Ь 1/ОО с присоединением заявки ¹
Комитет по делам изобретений и открытиЯ при Сосете 1йинистрое
СССР
Приоритет
Опубликовано 22.Ч1.1972. Бюллетень ¹ 20
Дата опубликования описания 11Л II.1972
УДК 621.357.3.035 (088.8) Авторы изобретения
А, Г. Карамов, С. В. Шалимов, Б. A. Александров и Д. Нишанов! РС;::. !. : :-НАЯ
Ь и т . : " """ " 1:: IE 11т(Заявитель
ЭЛЕКТРОД ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ
Изобретение относится 1к области электрохимичаской обер а бот1ки деталей.
Известен электрод для электро10имичес кой обработчики, имеющий не профилированную основу.
Однако, известный электрод не позволяет получать изображение путем избирательного .окисления, травления материалов в электролите.
Цель1о изобретения является обеспечение одновременной не равномерной обработки поверхности заготовки и повышение резкости переходов на границах неравномерно обра батываемых участков.
Эта цель достигается тем, что на основе
1pacI1oложены участки, состоящие из одного или неакольких материалов, с,заданными уделыныии сопротивлениями и IKoíòóðами, повторяющими ко нтуры участков зада нного из ображения.
На фиг. 1 — 16 показаны различные конструиции электродolB.
Элект1род может быть вы полнен: из ocH0IBbl и расположенных на ней участка в 1 пленок металлов с различным удельным сопротивлением (см. фиг. 1); из проводящей основы и расположенных .на ней участков 1. Основа вьиполнена с двумя сквоз ными опверстиями 2 (icx. фиг. 2); из основы, вы полненной из диэлект рика 8 и .проводящего мате1риала 4. На последнем рас положены участки 1 (см. фиг. 3); из основы, выполненной из диэлектрика 8 и проводящего материала 4. Последний выполнен из высокоомного материала и имеет отверстие 2 (см. фиг. 4); из диэлектрической основы 8 и расположенных на ней уча стков 1 и диэлектриков 5 (см. фиг. 5); из диэлектрической основы 8 и расположенных на ней участков 1 и диэлектриков 5, iïричел
1р проводящий слой имеет отверстие 2 (см. фиг. 6).
На фпг. 7 показа и эле ктрод, вы полненный из одного материала, но с различной толщиной 1 1астков; HB фиг. 8 — To же, Ho co cKB0315 ным отверстием 2.
Электрод может быть выполнен: из ос новы, Bы полненной из диэлектрика 8 и металла 6.
На последнем расположены участки 7 материала с одинаковым удельным сопротивле20 нием и разогой толщиной (см. фиг. 9); из основы, выполнеHiHoй из диэлектрика 8 и металла 6. 11а последнем расположены участки 7.
Основа и участки 7 имеют сквозное отверстие
2 (см. фиг. 10); из проводящей основы и ipac25 положенных на ней участков 7 (см. фиг. 11); из .проводящей основы и расположенных на ней участков 7, причем основа и участки имеют сквозное отверстие 2 (см. фиг. 12); из слоеной проводящей основы с различным
Зр удельным сопротивлением и расположенных
342943 на ней участков 1 (см. фиг. 13); из слоеной о сновы, вьпполненной из диэлектрика
3 и п ро во дя щего материала 4 и:рааположе нных на последнем участков I. Основа и участки имеют сивозное о пверстие 2 (см. фиг. 14); из слоеной .проводящей оси о вы с разливочным удельным оо протввлен ием и расположен|ных на ней учас KDIB 1 (см. фиг. 15); из слое|ной про водящей olcrroiâû .с различным удельным со проти влением и расположенных на ней участков 1, п ричем основа и участки имеют два .сквозных отверстия 2 (см. ф,иг. 16). .Пример 1. Электро д со|стоит из алюмиHHeiBoH основы, на которую нанесены терм ическим испа ре нием,в вакууме участники,плеHoiK ситалла определенной полщины и конфигурации и pcalKTHIBHbIM ра опылением — учасвки пленок нитрида та нтала.
Пр имер 2. Электрод состоит,из ситаллоВоН îclHolBbl, на которую нанесена термическим испаре нием сплошная, планка алк>мигания о тол|щи нои 6500А тантала и окисле на на раз-. ную .глу би1ну 5 разных же стах.
П р и iver е р 3, Электрод изготовлен из вольфрама определенной формы и разной толщины в направлении силовых линий электричеокого поля. Эле|кгрод епрессо ван из увлажненного вольфрамового поро ш ка на гидра влических прессах в стальных разъемных
rIpelcсфо рмах при да влениях до 4 — 6 т)см и спечен IB водородной среде,при ко с венно м напреве и прямо м на кале ето. Со стороны, проти во полож ной ра бочей п оверхности, вольфрамовый электрод покрыт химически осажденной никеле вой пленкой. В электроде имеется одно отвер|стие заданной формы.
Пр имер 4. Электрод изготовлен из стеклян ной пластины, на которую нанесены:
5 а) iciwrioIIIHBH пленка алюминия полщи ной о
8000 А; б) большие участки пленок из тантала и никеля; в) на пленки из тантала и никеля нанесены участки пленок нитрида TBHтала,,мо ноо киси гер мания и пятиокиси TBIHTBла определенной толщины и формы. Пленки металлов .нанесены те р миче|ским иопа рением и катодным распылением без llralcoK и через мареки. ,Пример 5. Электрод состоит из алюминиевой пластины, на,которую нанесена l1làcпыле инеи плен ка .нитрида тантала. С п о,мощью фотолитографии на пленке нитрида та нтала вол,учен нуж, ный рису,но,к.
Предмет изобретения
Электрод для электрохимической обработки, имеющий непрофилированную основу, отличающийся тем, что, с целью обеспечения одновреме н ной нерааномер ной обработюи птоверхности заготовки и IIQIBblilrlpíèÿ резкости
30 переходов на араницах,неравномерно обрабатываемых участков, на основе расположены участки, состоящие из од|ного или нескольких материалов с зада н|ным удельным сопроти вле нием и контурами, позторяющи|ми контуры уча стков заданного изображения.
4 1
ФиаГ
t Я 4 1
Фиг 4 з г
1t t 15
Фиг. 6 фиг. 8
Фиг. 7 г фиг. 10 фиг. 9
Фиг 11
Я 5 4
Фиг 15
1 1 1 t
t г г иг, 1б
Фиг (5
Составитель И. Резник
Редактор М, Макарова Техред 3. Тараненко
Заказ 2035/11 Изд. № 867 Тираж 406 Под,писное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытшi при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Фиг. 1
ФигЗ
f f t f 5 Я фиг. 5 г 7
Фиг f2 фиг 14
Корректоры: Л, Корогод и М. Коробова
