Способ изготовления пленочных термочувствительных сопротивленийвсесоюзнаяп»т''!'т!'.?г •i-''vf'f5t!r!'!tfая ; i i i..h 1 nu-} '^^депг slvjmfjбиблиотека
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Саеетских
Социалка ти,еских
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 11 V.1970 (№ 1439718/26-9) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет
Опубликовано 15Х.1972. Бюллетень № 16
Дата о публикования описания 12Х1.1972
М. Кл. Н Olc 17/00
Комитет па делам изсбретеиий и открытий при Совете Мииистров
CCCP
УДК 621.316.825(088.8) Лвторы изобретения Ф. М. Буканаева, А. M. Емельянова, В. Ф. Зорин и П. Е. Кандыба
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛ ЕНОЧ НЫХ
ТЕРМОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ СОПРОТИВЛЕНИЙ
Предмет изобретения
Изобретение относится к области микроэлектроники.
Известен способ изготовления пленочных термочувствительных со противлений путем нанесения н а подложку дисперсионных систем исходных материалов методом пульверизации.
Известный способ не позволяет, получить сопротивления с высоким отрицательным коэффициентом сопротивления и с высокой стабильностью.
Целью изобретения является устранение недостатка.
Поставленная цель достс(гается тем, что В качестве, сходных материалов используют водные растворы хлоридов кобальта, марганца и меди, наносимые методом пульверизации на воздухе, на подложку, нагретую до температуры пе ниже 500 С.
Сущность предлагаемого спосооа состоит в том, что исходные материалы в виде гидратов хлоридов смешиваются в определенных соотношениях и методом химической пульверизапли осаждаются па подогретую подложку. Процесс ведется на,воздухе. В качестве газа-носителя используется очищенный инертный газ. Химическая реакция разложения хлоридов и образование окислов происходит при температуре не более 500 С.
Изменяя содержание хлоридов в смеси и скорость подачи их на подложку, можно в широких пределах изменять электропроводность и температурный коэффициент coinpo5 тивления lIIJIeHoK. С целью регулирования электропровод ности пленок в,распыляемый раствор хлоридов,кобальта и .марганца вводится хлорид меди. Приведены два примера реализации способа.
10 П р и мер 1, В исходном растворе берется соотношение хлоридов марганца и кобальта
2: 1, газ-носитель — аргон, материал подложки — ситалл, температура подложки
500 С, скорость подачи хлоридов 1 мл/мин, 15 толщина пленок 0,3 мкм, электро проводность пленок а = 1,5 10 — ом —, |постоянная В =
4700 К, структура,пленки шпинель
МПС0204.
Пример 2. В исходном растворе соотно20 шение хлоридов марганца и кобальта 2: l. содержание хлорида меди 3%, газ-носитель —аргон, тем пература подложки 500 С, скорость подачи хлоридо в 1 л/лин, толщина пленок
0,3 лл, электропроводность пленок о=
25 =2,5 10- - ом-, постоянная В = 3000 К, Спосо б изготовления пленочных термочувЗО ствительных со противлений,путем нанесения
338924
Составитель А. Горбачев
Техред Л. Богданова Корректор Е. Миронова
Редактор В. Левятов
Заказ 1687/17 Изд. № 735 Тираж 448 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 на |подложку дисперсных систем исходных материалов методом пульверизации, отличаюи ийся тем, что, с целью получения со противлений с высоким отрицательным коэффициентом сопротивления и улучшения их стабильности, в качестве исходных материалов используют водные растворы хлоридов кобальта, марганца и меди, начосимые указанным методом на воздухе на подложку, нагретую
5 до температуры не ниже 500 С.
