Способ измерения скорости напыления пленок при испарении в вакууме
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
I8O457
Союз Советскиз
Социзлистическик
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Кл. 48Ь, 13/00
Заявлено 29.V1,1964 (№ 909084)22-2) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 21.111.1966. Бюллетень № 7
Дата опубликования описания 4Л .1966
МПК С 23с
УД К 621.793.14 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
H. И. Шпиньков, А. А. Пинчук, Б. В. Сныткин и В, Д. Горбунова !
Заявитель
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК
ПРИ ИСПАРЕНИИ В ВАКУУМЕ
Предмет изобретения
Свойства топких пленок, получаемых licit;tрением в вакууме, зависят от скорости ltx осаждения, влияющей на кристаллическую структуру. пленки и, в связи с этим, на ее магнитные и другие свойства.
Известны способы измерения скорости напыления пленок при испарении в вакууме.
Цель изобретения — — упростить измерения и повысить степень точности. Достигается это тем, что по предлагаемому способу используют самопроизвольную ионизацию испаряемого вещества. Ионы испаряемого вещества непосредственно переносят свой заряд на электрод.
Измерительный электрод соединяют с испарптелем через микроамперметр. Ионный ток, измеряемый мпкроамперметром, пропорционален скорости напыления.
Способ измерения скорости напыления пленок прп пспарс,ши в вакууме, основанный на понпзацип пспаряемого вещества, от.шкаюи ийся тем, что. с целью упрощения измерений
10 п уточнеш|я показаний, на пути ионов, самопроизвольно образующихся прп испарении наносимого веществ;;, помещают электрод, сосдппсппый с мпкроампсрметром, измеряющим ионный ток, прон орцпон скорости пс15 парения.
