Ю - техническая

Авторы патента:

В. Ф. Шаталов, А. М. Копытин, Н. С. Понарин , В. Т. Комиссаров

G01B7/06 - для измерения толщины

О П И СА Н И Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Саветскив

Социалистическил

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. G Olb 7j06

Заявлено 07.1Ч.1970 (№ 1427039/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 09.11.1972. Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 28.111.1972

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УД1 531.715.2(088.8)

581. 717.53 (088.8) Авторы изобретения В. Ф. Шаталов, А. М. Копытин, Н. С. Понарии и В. Т. Комиссаров

Заявитель

B ".ÑÎËË! I ;1

-„т, 11А-,-,;:т.;гтГ.,; ; а

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ НАРУШЕН НОГ9 САОФ ." 1с"А

В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИНАХ

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике.

Известен способ определения величины нарушенного слоя в полупроводниковых пластинах, закл1очающийся в том, что поверхность пластины стравливают в электролите и измеряют параметры пластины вЂ” электросопротчвление. Однако этот способ очень трудоемкий, так как необходимо многократное стравливание поверхности пластины и снятие вольтамперных характеристик перехода пластинаэлектролит.

Целью данного изобретения является повышение прон I»oiII Icльности контроля, Для этого фиксируют наибольшую деформацгио нласгины в процессе травления посредством

1ензодатчика.

Сцосоо поясняется чертежом.

Устройство содержит стойку 1, регулируемую |о высоте посредством пары винт вЂ” гайка

2, столик 8, на котором установлен фторопластовый стакан 4 с травителем, штангу 5, закрепленную на кронштейне б и расположенную над фторопластовым стаканом. На штанге 5 закреплена пластина 7 с тснзодатчиком 8, включенным в электронный ш|дикатор 9 сигнала датчика.

Определение величины нарушенного слоя осуществляется следу1ощнм образом.

Нижшою поверхность пластины 7 вводят в соприкосновение с травителем. По мере травления пластина деформируется под воздействием нарушенного слоя ее верхней поверхности, При полном стравливании нарушенного слоя на нижней поверхности деформация будет максимальчой, ее величина фиксируется тензодатчнком 8, приклеенным к пластине 7, I1 величина нарушенного слоя определяется IIo измененшо толщины пластины.

Предмет изобретения (нособ определения всли IIIIILI нарушенногоо слоя в полупроводниковых пластинах, заключающийся в том, что поверхность пластины стравливают в электролите и измеряют параметры пластин, отличаюттткйся тем, что, с целью повышения производительности контроля, фиксируют наибольшую деформацию пластины в процессе травления посредством

25 тензодатчика.

Редактор Г. Гончарова

Составите.п, А. Д,ханин

Тсхрсд Jl. Богданова

Корректор А. Царькова

Зг каз 72l 9 Изд. М 228 Тира;к I I3 По,пгиспос

IaIiIIIIIII Копите!» по дс.п.:и инобис;-опий ; 01крлг iii при Совете Мипис|рои CCCI

Моcêï I, )К-:35, рiii llict ;I51 паб д

Тпп 1гра<) ия, г:р. Сапу:пп:и, 2

Способ измерения толщины гальваническихпокрытий // 328328

Токовихревой толщиномер // 328327

Устройство для контроля толщины диэлектрическихпокрытий // 327373

Устройство для измерения толщины немагнитного покрытия на ферромагнитной основе // 326440

Способ бесконтактного измерения площади поперечного сечения комплексных нитей // 324478

Устройство для измерения толщиныпдтешо-тех1- ш^есрйбиблиотека // 324477

Устройство для многопараметрового контроля токопроводных изделий // 324476

Патент 323641 // 323641

Импульсный вихретоковый измеритель // 323640

Термозонд для неразрушающего контроля толщины защитных пленочных покрытий // 2101674

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Устройство для измерения толщины плоского изделия и способ его реализации // 2107257

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Устройство для определения наличия и толщины пленки электролита на поверхности металлических объектов // 2107891

Вихретоковое устройство для неразрушающего контроля // 2111482

Индукционный датчик контроля толщины металлических покрытий // 2112919

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Неразрушающий способ определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений // 2113691

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Устройство для измерения толщины проводящего покрытия с непосредственным отсчетом // 2128818

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий

Магниторезистивный элемент и способ его получения // 2128819

Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Электромагнитный толщиномер // 2129253

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Измерительное устройство // 2133448

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе