Электростатическое реле
ОПИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Респ отблик
Зависимое от авт. свидетельства М 204440
Заявлено 22.1Х.1970 (№ 1477789. 18-24) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 19 1.1972. Б1оллетспь Ы 4
Дата опубликования описа1гия б.ш.1972.Ч. Кл. H Olh 61/00
Комитет по делам изобретений и открытиЯ при Совете Министров
СССР
УДК 621.318.51(088.8) Авторы изобретения
Ю. П. Дягилев, Л. П. Гавр1ошкин и И. С. Солдатенков
3 аявитель
ЭЛ ЕКТРОСТАТИЧ ЕСКОЕ РЕЛ Е
>., (v)
1.— а,— ад где
Известны электростатические .реле, содержащие подвижную пластину и гибкую мембрану.
Однако такие реле имеют недостатки, обусловленные плоской формой мембраны.
Основной параметр реле — напряжение срабатывания U,ð, зависит от натяжения мембраны
a — натяжение мембраны; ео — диэлектрическая проницаемость;
d — зазор между мембраной и тянущими электродами;
/г — толщина мембраны;
L — длина мембраны;
L — а1 — а — ширина тянущих электродов.
Натяжен 1с мембраны определяется разностью коэффициентов линейного расширения материала подложки и мембраны. о=еЕ= (а — а„) AT Е, где а — коэффициент линейного расширения подложки; а„— коэффициент линейного расширения мембраны;
Т вЂ” разность технологической и эксплуатационной температур;
F. — модуль 10нга.
Вследствие того, что к материалу мембраны предъявляются многие требования (к контактным, механическим свойствам, по селективности травления с материалом буфера, а
5 также сцепленшо с подложкой) выбор их
orраиичеп.
Выбор подложек по коэффициенту температурного расширения также ограничен. Это
10 значительно затрудняет обеспечение низкого напряжения срабатывания.
В известных электростатических реле на;1ряжсппе срабатывания зависит от температуры.
С целью снижения напряжения срабатывания и расширения температурного диапазона работы реле, в предлагаемом реле использована мембрана с пружиной, роль которой вы20 полняют гофры пленки мембраны.
Схема устройства представлена на чертеже.
Оно содержит мембрану !, пружину (гофр)
25 2, тянущий электрод 8, контакт 4, диэлектрик 5 и подложку 6.
На д1!электрической подложке 6 нанесены тянущие электроды 8, покрытые диэлектри30 ком 5, и контакт 4.
326657
Предмет изобретения
Составитель Л. Шарова
Техрсд 3. Таранеико
Редактор Л. Утехина
Корректор T. Бабакина
Заказ 427) l 0 Изд. № 154 Тира>к 448 Подпис| ое
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Гофры могут быть изготовлены напылением мембраны на сложный рельеф буферного слоя.
Такая конструкция реле позволяет расширить выбор материалов мембраны, примспяемык с заранее выбранным материалом подложки, и наоборот.
Электростатическое реле по авт. св. № 204440, отличающееся тем, что, с целью уменьшения напряжения срабатывания реле, подвижная мембрана выполнена частично гофрированной.
