Двухлучевой интерферометр для измерения диаметра

3I9838

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советокнх

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 26.1.1970 (№ 1399807/25-28) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 02.Х1.1971. Бюллетень № 33

Дата опубликования описания 22.Х11.1971

МПК G 01Ь 11/08

Комитет ло делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

УДК 531.715.1(088.8) Авторы изобретения

М. Г. Богуславский и А. И, Крицын

Заявитель

ДВУХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДHAMETPA

ОТВЕРСТИЯ ДЕТАЛИ

Изобретенйе относится к области линейных измерении и может быть использовано для аттестации и поверки образцовых колец, применяемых в шарикоподшипниковой промышленности, дизелестроении, самолетостроении, станкостроении и т. п. известен двухлучевои интерферометр для измерения диаметра отверстия детали, содержащии осветитель, светоделительную пластину, делящую световой поток на две ветви— рабочую и эталонную, отражающии элемент, установленный в рабочеи ветви, и регистрирующую систему.

11редлагаемыи интерферометр отличается от известного тем, что, с целью повышения точности и расширения пределов измерения, отражающий элемент выполнен в виде усеченного конуса с прямым углом при вершине.

На фиг. 1 изображена оптическая схема предлагаемого интерферометра; на фиг. 2— интерференциальная картина в поле зрения.

Интерферометр содержит осветитель (на чертеже не изображен), коллиматор с объективом 1 и щелью 2; светоделительную пластину д, неподвижное плоское зеркало 4, отражающий элемент — непрозрачный усеченный конус 5 с зеркальными отражающими поверхностями, объектив б, выходную щель 7 и регистрирующую систему (на чертеже не показана), Лучи света, идущие от источника свста> ирой. дя коллиматорную щель 2 и объектив 1, становятся параллельными, так как щель находится в фокусе объектива 1. Параллельный пучок света падает на светоделительную пластину 8, где он разделяется на два пучка (две ветви).

Один пучок света отражается от свстоделительной поверхности пластины д и падает по нормали на плоское зеркало 4. Затем этот

10 пучок света, отражаясь от зеркала, проходит в обратном направлении через светоделптсльную пластину и собирается объективом 6 в плоскости выходной щели 7. Второй пучок света проходит через светоделительную плас15 тину д, падает на боковую поверхность и поверхность верхнего основания усеченного конуса 5. Часть пучка, падающая на боковую поверхность, отражается от нее и в радиальном направлении падает на измеряемую поверх20 ность детали 8. Далее этот пучок света, отражаясь последовательно от измеряемой поверхности детали и боковой поверхности конуса, вместе с частью пучка, отраженного от верхнего основания усеченного конуса, возвращает25 ся обратно к пластине 8, отражается от ес поверхности и собирается при помощи объектива б в плоскости выходной щели 7. Оба пучка света, имеющие разность хода, интерферируют между собой, Система из внутренней цилиндЗ0 рической поверхности и соосной конической

319838

4c/2 1

Фиг, 2

Составитель Л. Лобзова

Техред 3. Н. Тараненко

Редактор С. П. Ежкова

Корректоры: Л. Корогод и А. Николаева

Заказ 3636/Il Изд, № 1556 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 с углом при вершине 90 эквивалентна плоской отражающей поверхности А, отстоящей от вершины на расстоянии, равном радиусу измеряемого отверстия, Если между поверхностями верхнего основания усеченного конуса и плоскостью А с одной стороны, и изображением зеркала, с другой стороны, имеется небольшой клин, то будут наблюдаться две системы интерференционных полос равной толщины, одна из которых Б расположена на поверхности верхнего основания усеченного конуса, а другая — В на поверхности измеряемого диаметра. По величине смещения интерференционных полос в нескольких спектральных линиях монох ром атичес кого источника света определяется размер от верхнего основания конуса до измерительной поверхности отверстия, т. е. плоскости А, аналогично тому, как это делается при абсолютных измерениях концевых мер на интерферометре Кестерса. Диаметр отверстия определяют исходя из полученного на интерферометре размера от верхнего основания усеченного конуса до плоскости А и постоянного значения от вершины конуса до верхнего основания, которое определяется интерференционным методом при аттестации.

Предмет изобретения

1Q Двухлучевой интерферометр для измерения диаметра отверстия детали, содержащий осветитель, светоделительную пластину, делящую световой поток на две ветви — рабочую и эталонную, отражающий элемент, установленный

15 в рабочей ветви, и регистрирующую систему, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и расширения пределов измерения, отражающий элемент выполнен в виде усеченного конуса с прямым углом при вершине.