Еибл-иотекаприбор для

306337

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Со)ез Советских

Сониалистических

Республи!т

Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”

МП!х 6 01Ь 7 04

Заявлено 04.1.1970 (№ 1391460/25-28) с присоединением заявки X ——

Приоритет—

Опубликовано 11.V1.1971, Бюллетень ¹ 19

Дата опубликования опи аипя !ЗЛ П !.197!

Комитет ло делам изобретений и открытий ави Совете 1!!1ииистрсв

СССР

УД1;, 531.717.11 (088.8) Авторы изобретения

М. М. Чернякова и Ю. P. Войцехов

Заявитель

Д((:.. -0;. „12 ;1А:) »" т»» 1 .»», (С (0

ПРИБОР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПРОВОДЯШHX

И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОКРЫТИЯ

Изобрстсние относится к контрольно-испытательной технике.

Известны приборы для контроля качества проводящих и полупроводниковых покрытий, содержащис источник белого света и экран, ме)кду которыми расположен сосуд с матовой внутренней поверхностью, заполненны и жидкостью, в которой помещена нагрсвасма» электрическим током контролируемая деталь, причем коэффициенты преломления для определенной длины волны спектра светя ж!1дкости и матсриала сосуда в диапазонс гс. Иср;1тур совпадают. Однако конструкция этих llpllбОрОв CJIO)KHB51» 2 HpOHBBOQHTC»1bHOCTb HO!11 роля низкая, из-32 наличия ме: а ни lеского с!» 1— нирующсго устройства типа шагового:lcкяТела!.

Предло)кенныи прибор для 1(оптроля к11 1сства проводящих и полупроводниковых покрытий отличается от известных тем, что, с цсльн! упрощения конструкции прибора и повышсип;! производительности контроля, он снао)кс!1 двумя кон) cooop23Hbl)1 H Зер кал(! !»111, на ружиым отражающим и внутренним полупрозра(— ным, окружающими сосуд с деталью, осп симметрии которых совмещены с осью сосуда, я гсохlетричсскис вершины Оор21псны к противоположнымым торцам сосуда.

Ha Hcp rc Kc схемати»IHO 1130()pB)K(«рс;1л»женный прибор.

Прибор содержит источ)шк 1 оелого света и экран 2, между которыми расположен сосуд 8 с жидкостью, в которой помещена контролируемая деталь —.1, 11агрсвасмая электрическим

5 тОкОм От исто 1п!1102 д. СосуД 8 01 рмжсп ДвумЯ

KoH) coo()рази»!»»! и 3cp KB 1 а AIII, HBp), )KHbl )I 0 01ражающпм и внутренним 7 полупрозрачным.

Оси симметрии зеркал 6, 7 li сосуда 8 совпадают, а геометр)1чсскис вершины этих зсрка l

10 обращены к противоположным торцам сосуда.

Прибор работает следующим образом.

Коллинеарный кольцевой поток спеТВ от и точника 1 падаст на отражающее наружное зеркало 6, которое поворачивает его на 90 и в

13 виде равномерного потока белого света, сходящегося ня ос1 сосуда 8, направляет его и;! деталь 4, нагреваемую электрическим током or источника 5, чсрсз внутрсннсс полупрозра !ио( зеркало 7.

Отраженный от детали поток света, спектра.)ьн>1й сосТВВ которого по длине детали 011: сдслястся градиентами теплового поля сс поверхности, падает на полупрозрачное зсрка I0 7 и, отражBясь от него, меняя направлспllс

»а 90=, падает на экран 2 в виде цветного кольцевого изображения, по которому визуально опрсдслястся тепловое поле контролируемой детали, содержащее информацию о качестве

30 сс покрытия.

306337 > о

I j ji c ë )! е т H z 0 L) () с т с и и я,( ( (.(> !;!!i . ..! Л.,о, х((I L tl

1 .,(;! к (о() > . foH>ff(()ÎÂ(( Г(к ),:(Е. 1>ориоов((Ко:)()(:i(():,> T. А. >ьбрамов((:>оказ 454З И 3;!. ¹ В((Ill ()i(i((48(1 (!о ((, (, (>

I (i ((;(((II(К»l > (, гв I!() i. >вм ((во() ): к:i!i !! о.:. )(,: !!i! I! ) I Г:>,.i (, 3(I..!. .((ов (Г:1:»

>(оокв;i,,>К-З5. 1 l!) i!!iккii ((;(о., )е 4 5

Оо l((c((i 0(I!!I! н;);!>(i!!!i Коо(()о)(око() .((Ð((â,(L((:;il II(> («>(в(к

1 (J) НООJ) Длй контРО 111 кгl>!Oc Г131! п() Оlii):! Lпг:i к полу !роноднпковы.; покры Гп!1, содер)к!)итп!1 п с(0 1lil i! ()O,АЛОГО c13cT!l и 3I! () I) Il, .>>(С)кд> 1 .0 !0() i>1- 5

i! fI () HC11010)HC 0C>, Д С М 11 101301! 1)П), ТР СНПС!l !

>Ои j)XIIOC1!>Ю 31!!10 IHCllllbfll )КИДКОСТЬК), 13 КОI()(>ОП ПОМСIЦСП КОПТРО1!1!) > С)! 1СМ

Коя!()фиl(>1(. !IТЫ П()СЛО)!ЛСН(111 дЛ11 ОI!pсд,!\. IIНОЙ .l. I l l i l l >l 3 0 Л f I l >i С П С! Е Г () !) С 13 С Т 11 Ж 1 Д . 0 С Т П i! ) <1 Т" - 1 0 ь

1

»

c,,(ьь (>>ь>>>йВИВ

j) И11Л !) СОСМД(1 и Дигl иг)ЗОН> i. >l!! C() LLT C ) СОВПН дают, От ггг(ггпощнггс I тем, >(то, с целью у:гро1 Ц С П И Я !< 0 I I C T () ), К! 1,f i l П Р И 0 0 Р и I I i L 0!3 L>I l L! Q H H R П Р Оi aHOgLfTe:!bi!OCT!!»O!ITj)0ЛЯ, ОН СПЯО;КСП ДВУМЯ конусоооразными зсркялямп> наружным отра;.- я!Ощп)! и OH T()cHILLIм полупрозра Hibl)!> окру;к!Ho! Hi:f!! Сосед с дстял!и, осп симметрии которы.; со()мс!цсвь(с осьпо сосуд!(, я Гсометри I"--СКПС 1>С )IHI!I!bi ООР;)И((.П!>! К Il()0 f И 30!IO. .0)f!!If>f)l

ТOJ) .: 1! >1 (О >>Д!) .