Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Авторы патента:

C23C14/24 - вакуумное испарение

298704

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

P+ 5Q@x

;,".", >4J)

Л б, . . :-

Зависимое от авт. свидетельства МвЂ”

МПК С 23с 13/12

Заявлено 05Л.1969 (№ 1390430/22-1) с присоединением заявки М

Приоритет

Опубликовано 16.lll.1971. Бюллетень М 11

Дата опубликования описания 16.1 .1971

Комитет по делам изобретений и открытий

flpH Совете Министров

СССР

Ъ ДК 621.793.14.002.51 (088.8) ВСЕС01су= 1

ЗПИ1 1!".- .. -.

Автор изобрете тия

Э. Г. Маркосян

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее испаритель металла в виде системы проволочных стержней.

Предложенное устройство отличается от известного наличием испарителя диэлектрика, расположенного под испарителем металла на одной с ним оси. Это позволяет получать однородные по толщине и составу металлокерамические пленки.

На чертеже показано описываемое устройство.

Оно состоит из испарителя металла 1 в виде системы проволочных стержней, испарителя диэлектрика 2 и подложки 8.

Испаритель металла обеспечивает высокую степень однородности напыления. Однородность напыления диэлектрика достигается или удалением испарителя от подложки, или увеличением его активной площади. Процентное содержание компонентов в напыляемой пленке

5 регулируется изменением расстояния испарителей до подложки или их режимами.

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее испаритель металла в виде системы проволочных стержней, ornuuniou1eec тем, что, с целью получения однородных по

15 Tîë öèíc и составу металлокерамических пленок, устройство снабукено испарителем диэлектрика, располо кенным под испарителем металла на одной с нпм ocl>.

298704

Составитель И. Резник

Редактор Н. Л. Корченко Тсхрсд Л. Я. Левина Коррскторы: А. Николаева и Л. Корогод

Заказ 859/16 Изд. ¹ 384 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Шлюзовое устройство для ввода в вакуумную камеру и вывода из нее плоских изделий // 297706

Устройство для нанесения покрытий в вакууме на внутренние поверхности полых изделий // 290966

Испаритель для нанесения покрытий в вакууме // 289148

Испаритель для вакуумных установок // 287493

Устройство для нанесения покрытий в вакуум^ ьиблиотека // 268121

Вакуумная установка // 235902

Способ нанесения слоя полимера на подложку // 234093

Устройство для напыления л1икросхем // 218262

Способ нанесения покрытий на алмазные порошки // 212702

Способ плазменно-дугового нанесения покрытий в вакууме // 2109083

Изобретение относится к нанесению тонкопленочных покрытий в вакууме, в частности защитных, износостойких и декоративных покрытий на изделия из различных материалов

Способ нанесения антикоррозионных покрытий // 2109841

Способ нанесения покрытий в вакууме // 2114209

Изобретение относится к машиностроению, в частности к нанесению покрытий в вакууме, и может быть использовано при нанесении покрытий на режущий инструмент, изготовленный из сталей, твердых сплавов и керамических материалов

Устройство нанесения тонких пленок // 2114931

Изобретение относится к микроэлектронике и направлено на обеспечение минимальной неравномерности покрытия подложки тонкой пленкой распыляемого материала

Испаритель для металлов и сплавов // 2118398

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом ультрадисперсных порошков и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия

Способ получения на подложке защитных покрытий с градиентом химического состава и структуры по толщине с внешним керамическим слоем, его вариант // 2120494

Изобретение относится к области получения высокотемпературных материалов, используемых для защиты от окисления и газовой коррозии и в качестве защитных покрытий термонагруженных деталей газовых турбин и двигателей внутреннего сгорания

Испаритель // 2121522

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для получения толстых пленок металлов при изготовлении, например, разводки коммутационных плат

Способ изготовления изделий из износостойких, прочных и жаропрочных материалов // 2122601

Изобретение относится к материаловедению, а именно к способам изготовления преимущественно износостойких, прочных и жаропрочных материалов на металлической, металлокерамической или полимерной основе, а также изделий из этих материалов

Испарительный тигель // 2133308

Изобретение относится к полупроводниковой области техники и может быть использовано в молекулярно-лучевой эпитаксии для снижения плотности дефектов в эпитаксиальных структурах

Устройство для проведения взрывного испарения // 2136778

Изобретение относится к устройствам взрывного испарения с резистивным нагревом для испарения металлов