Устройство для напыления л1икросхем

Авторы патента:

218262

Составитель Н. Давыдов

Редактор Н. Л. Корченко Техред А. А. Камышнмкова Корректоры: И. Л. Кириллова и С. А. Башлыкова

Заказ 2108/6 Тираж 530 Подписное

ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Сеоова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 которых расположен внутри другого, испаритель напыляемого материала и держатели подложек микросхем, от.гипающееся тем, что, с целью повышения качества микросхем, испаритель установлен в наружном колпаке, держатели подложек и масок размещены во внутреннем колпаке, а опорная плита этого колпака снабжена перекрываемой скользящей заслонкой диафрагмой, служащей для прохода потока напыляемого материала из наруж5 ного колпака во внутренний.

Установка для нанесения термодиффузионных покрытий на изделия // 202684

Устройство для металлизации в вакууме // 191988

Автоматическое устройство для напыления пленок на диэлектрические подложки // 191661

Вакуумная камера для металлизации пластин // 106689

Способ плазменно-дугового нанесения покрытий в вакууме // 2109083

Изобретение относится к нанесению тонкопленочных покрытий в вакууме, в частности защитных, износостойких и декоративных покрытий на изделия из различных материалов

Способ нанесения антикоррозионных покрытий // 2109841

Способ нанесения покрытий в вакууме // 2114209

Изобретение относится к машиностроению, в частности к нанесению покрытий в вакууме, и может быть использовано при нанесении покрытий на режущий инструмент, изготовленный из сталей, твердых сплавов и керамических материалов

Устройство нанесения тонких пленок // 2114931

Изобретение относится к микроэлектронике и направлено на обеспечение минимальной неравномерности покрытия подложки тонкой пленкой распыляемого материала

Испаритель для металлов и сплавов // 2118398

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом ультрадисперсных порошков и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия

Способ получения на подложке защитных покрытий с градиентом химического состава и структуры по толщине с внешним керамическим слоем, его вариант // 2120494

Изобретение относится к области получения высокотемпературных материалов, используемых для защиты от окисления и газовой коррозии и в качестве защитных покрытий термонагруженных деталей газовых турбин и двигателей внутреннего сгорания

Испаритель // 2121522

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для получения толстых пленок металлов при изготовлении, например, разводки коммутационных плат

Способ изготовления изделий из износостойких, прочных и жаропрочных материалов // 2122601

Изобретение относится к материаловедению, а именно к способам изготовления преимущественно износостойких, прочных и жаропрочных материалов на металлической, металлокерамической или полимерной основе, а также изделий из этих материалов

Испарительный тигель // 2133308

Изобретение относится к полупроводниковой области техники и может быть использовано в молекулярно-лучевой эпитаксии для снижения плотности дефектов в эпитаксиальных структурах

Устройство для проведения взрывного испарения // 2136778

Изобретение относится к устройствам взрывного испарения с резистивным нагревом для испарения металлов