Электродуговой испаритель металлов

Авторы патента:

C23C14/24 - вакуумное испарение

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

297707

Ооюа Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 09.Ч1.1969 (№ 1336680/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11.III.1971. Бюллетень № 10

Дата опубликования описания 19Х.1971

МПК G 23с 13/12

Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.793.14.002.51 (088.8) Авторы изобретения

Ф. В, Урьяш и В. К. Гусев

Заявитель

ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ

Изобретение относится к способам нанесения покрытий в вакууме.

Известен электродуговой испаритель металлов, содержащий дуговые электроды и поджигающий электрод.

С целью предотвращения загрязнения наносимых покрытий, в предложенном испарителе один из дуговых электродов выполнен с полостью, внутри которой жестко закреплен поджигающий электрод.

На чертеже представлен общий вид испарителя.

Он состоит из дуговых электродов 1 и 2 и поджигающего электрода 8. Дуговой электрод 2 выполнен с полостью, внутри которой жестко закреплен поджигающий электрод 3.

Дуговой электрод 1 представляет собой стержень из материала покрытия и располагается над дуговым электродом 2. Поджигающий электрод представляет собой вольфрамовую проволоку или спираль и крепится с помощью токоподводов 4 к изоляционному основанию 5.

Изоляционное основание со смонтированными на нем поджигающим электродом закрепляется в полости дугового электрода 2 так, что поджигающий электрод находится в полости и полностью ограничивается от окружающего пространства стенками электрода 2 и изоляционным основанием.

Боковая поверхность дугового электрода 2 касается рубашки б, по которой циркулирует охлаждающая жидкость.

На дуговые электроды 1 и 2 подается на5 пряжение 3000 вЂ” 4000 в промышленной частоты. Через поджигающий электрод пропускается ток 100 вЂ” 200 а, электрод разогревается и нагревает неохлаждаемую верхнюю часть дугового электрода 2.

1п Нагретая поверхность дугового электрода 2 эмиттирует электроны, которые бомбардируют дуговой электрод 1 в тот полупериод высокого напряжения, когда он находится под положительным потенциалом, и разогре15 ваю П его.

Во второй полупериод высокого напряжения эмиттируемые дуговым электродом 1 электроны бомбардируют дуговой электрод 2, верхняя часть которого разогревается. Через

20 некоторое время (1 вЂ” 2 мин) оба электрода разогреваются до температуры, близкой к температуре плавления материала. В промежутке между ними в парах испаряемого металла образуется большое количество ионов, 25 что обеспечивает возможность возникновения самостоятельного дугового разряда. Этот момент фиксируется по резкому падению напряжения на киловольтметре, после чего поджигающий электрод отключается. ЭкранироЗО вание поджигающего электрода дало возможность предотвратить загрязнение наносимого покрытия.

Предмет изобретения

Электродуговой испаритель металлов, содержащий дуговые электроды и поджигающий электрод, отличающийся 1ем, что, с целью предотвращения загрязнения наносимых покрытий, один из дуговых электродов выполнен с полостью, внутри которой жестко

5 закреплен поджигающий электрод.

Составитель И. Резник

Редактор Г. Г. Бялобжеская Текред 3. Н. Тараненко Корректор В. И. )Колудева

Заказ 1302/12 Изд. № 571 Тираж 473 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Устройство для нанесения покрытий в вакууме на внутренние поверхности полых изделий // 290966

Испаритель для нанесения покрытий в вакууме // 289148

Испаритель для вакуумных установок // 287493

Устройство для нанесения покрытий в вакуум^ ьиблиотека // 268121

Вакуумная установка // 235902

Способ нанесения слоя полимера на подложку // 234093

Устройство для напыления л1икросхем // 218262

Способ нанесения покрытий на алмазные порошки // 212702

Установка для нанесения термодиффузионных покрытий на изделия // 202684

Способ плазменно-дугового нанесения покрытий в вакууме // 2109083

Изобретение относится к нанесению тонкопленочных покрытий в вакууме, в частности защитных, износостойких и декоративных покрытий на изделия из различных материалов

Способ нанесения антикоррозионных покрытий // 2109841

Способ нанесения покрытий в вакууме // 2114209

Изобретение относится к машиностроению, в частности к нанесению покрытий в вакууме, и может быть использовано при нанесении покрытий на режущий инструмент, изготовленный из сталей, твердых сплавов и керамических материалов

Устройство нанесения тонких пленок // 2114931

Изобретение относится к микроэлектронике и направлено на обеспечение минимальной неравномерности покрытия подложки тонкой пленкой распыляемого материала

Испаритель для металлов и сплавов // 2118398

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом ультрадисперсных порошков и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия

Способ получения на подложке защитных покрытий с градиентом химического состава и структуры по толщине с внешним керамическим слоем, его вариант // 2120494

Изобретение относится к области получения высокотемпературных материалов, используемых для защиты от окисления и газовой коррозии и в качестве защитных покрытий термонагруженных деталей газовых турбин и двигателей внутреннего сгорания

Испаритель // 2121522

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для получения толстых пленок металлов при изготовлении, например, разводки коммутационных плат

Способ изготовления изделий из износостойких, прочных и жаропрочных материалов // 2122601

Изобретение относится к материаловедению, а именно к способам изготовления преимущественно износостойких, прочных и жаропрочных материалов на металлической, металлокерамической или полимерной основе, а также изделий из этих материалов

Испарительный тигель // 2133308

Изобретение относится к полупроводниковой области техники и может быть использовано в молекулярно-лучевой эпитаксии для снижения плотности дефектов в эпитаксиальных структурах

Устройство для проведения взрывного испарения // 2136778

Изобретение относится к устройствам взрывного испарения с резистивным нагревом для испарения металлов