Способ создания зазоров
298086
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидстельства №
Заявлено 08 1Х.1969 (№ 1359016/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 11.111.1971. Бюллетень № 10
Дата опубликования описания 13Х.1971
МПК Н 05k 3/06
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.3.049.75 (088.8) Авторы изобретения
P. П. Сейсян и И. Я, Ходак
3 аявитель
СПОСОБ СОЗДАНИЯ ЗАЗОРОВ
Известен способ создания зазоров между электродами в тонкопленочных микроструктурах посредством использования шаблонов с зазорами.
Цель изобретения — получение зазоров малой величины.
Для этого используют фотошаблон, элементы рисунка в котором представляют собой два соединенных углами равных треугольника, причем у этих треугольников две стороны одного являются продолжениями другого, а величину зазора регулируют изменением угла при вершине треугольника и времени травления.
Сущность изобретения состоит в применении фотошаблона, принципиальным отличием которого является отсутсгвие зазора между элементами рисунка, служащими для получения электродов в нанесенных на подложку тонкопленочных микроструктурах.
На фиг. 1 представлен беззазорный фотошаблон, элементы рисунка которого представляют собой два соединенных углами равных треугольника, у которых две стороны одного являются продолжениями сторон другого; на фиг. 2 — получившийся на тонкой пленке после обработки рисунок, наблюдаемый под микроскопом с сильным увеличением.
По предлагаемому способу изготавливают фотошаблон, принципиальным отличием которого является отсутствие зазора между элементами рисунка фотошаблона, служащими для получения электродов в нанесенных на подложку тонкопленочных микроструктурах.
Элементы рисунка фотошаблона представляют собой два соединенных углами равных треугольника, у которых две стороны одного являются продолжениями сторон другого. Величина зазора в тонкой пленке в месте соприкос10 новения углов треугольников зависит от материала электродов, толщины пленки, величины угла треугольников рисунка фотошаблона и времени травления и хорошо регулируется изменением угла треугольников и временем травления. Получившийся на тонкой пленке рисунок виден под микроскопом с сильным увеличением (см. фиг. 2). При травлении получаются треугольники с несколько закругленными углами. Получены зазоры до 0,2—
20 0,3 мкм.
Используя размножение, на одной плате размером 60)(48 мл получено более 450 элементов, имеющих размеры 2Х1 лтм и расстояние между элементами 1 мм. Наблюдается хо25 рошая повторяемость размеров зазоров по плате.
Предмет изобретения
Способ создания зазоров между электрода30 ми в тонкопленочных микросхемах, изготавли298086
Составитель Н. Герасимова
Редактор А. В. Корнеев Техред Л. Л. Евдонов Корректор О. С. Заицева
Заказ 1168/7 Изд. № 514 Тираж 473 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская иаб., д. 4)5
Типография, пр. Сапунова, 2 ваемых методом фотолитографии, отлачгпои4ийся тем, что, с целью получения зазоров малой величины, используют фотошаблон, элементы рисунка в котором представляют собой два соединенных углами равных треугольника, у которых две стороны одногд являются продолжениями другого, а величину зазора регулируют изменением угла при вершине треугольника и времени травления.
