Способ изготовления зондовых головок для измерения удельного сопротивления полупроводников

М Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

284960

Союз Ссветскиз

Социалистическик

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 07Х1!.1967 (№ 1171096/25-27) Кл. 7d, 16

2lе, 29/Ol с присоединением заявки №

Приоритет

МПК 8 21f

G Olr

УДК 621.778:621.317 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

Опубликовано 29.Х.1970. Бюллетень № 33

Дата опубликования описания 27.1.1971

Авторы изобретения

Г. В. Дудко, Л. Г. Фомина и H. Н. Цопкало

Таганрогский радиотехнический институт

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЗОНДОВЪ1Х ГОЛОВОК ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ

Изобретение относится к области обработки материалов для получения специальных изделий, в частности зондовых головок, измеряющих удельное сопротивление полупроводников четырехзондовым методом.

При изготовлении зондовых головок известным способом в основании проделывают небольшие (10 — 30 лк) отверстия, в которые протягивают зондовые проволоки. Расстояния между отверстиями доли ны быть достаточно малы (до б0 лк) ti строго одинаковы. Сущесгвующим способом это трудно обеспечить, что отражается па качестве зондовых головок.

Предлагасмьш способ отличается тем, что перед фи ксацпей проволок их располагают веерообразно, натягивают, а затем подводят основание, перемещая его вдоль проволок до требуемого расстояния между последними, а фиксацию зондовых,проволок осуществляют путем нанесения клеящего состава на осноние с образованием каналов для размещения в них с возможностью продольного перемещения проволок.

Этот способ позволяет довольно просто изготавливать головки, соблюдая между зондами одинаковое расстояние (от l л л до б0 л к).

Для изготовления зондов используют вольфрамовую проволоку диаметром 100 — 50 лк.

На чертеже изображено приспособление, осуществляющее предлагаемый способ.

Зондовую проволоку располагают веерообразно. Болтом 1 закрепляют ее конец, натяги вают между установочной гребенкой 2 и крючКоМ 3 и свободный:конец закрепляют болтом 4. Затем производят общую натяжку зон5,довых проволок с помощью винта 5 1т перевязывают,их общим жгутом у крючка 8. Под микроскопом проверяют правильность укладки зондовых проволок на стойке.

Прп необходимости положение проволок

10 корректируегся металлической иглой так, чтобы проволоки лежали на стойке вплотную друг к другу.

Под натянутые зондовые проволоки подводят основание, перемещая его вдоль прово15 лок до требуемого, расстояния между последними.

Зондовые проволоки фиксируют нанесением клеящего состава на основание таким образом, чтобы клей не смачивал проволоки. При

20 этом образуются каналы для размещения проволоки. Если основание изготовлено из о рганпческого стекла, фиксацию производят раствором этого стекла в дихлорэтане. Затем голов;ка выдерживается .до полного высыхания

25 клеящего состава. Небольшими возвратно-поступательными продольными перемещениями добиваются необходимой подвижности проволок в канала. .

Затем обрезают свободные концы проволок

30 у крючка 8 и гребенки 2.

Заточку зондов производят методом электро284960

Предмет изобретения

5 3

Узел Б

Составитель О. Локоток

Редактор Ю. Полякова

Корректор А. П. Васильева

Изд, № 1 Заказ 4009/9 Тираж 480 Подписное

ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 литического тра вления. В качестве электролита,применяют 100%-ный раствор щелочи (КОН или NaOH). При этом к электролиту и зонду ,подается напряжение 1 — 6 в.

После заточки зонды вытягиваются из основания так, чтобы они выходили из головки на заданную величину (0,3 — 1 м,и) и подсоединяют к контактным лепесткам головки.

На этом процесс изготовления толовок заканчивается.

Способ изготовления зондовых головок для измерения удельного сопротивления полупро водников путем фиксации зондовых проволок на основании с возможностью продольного перемещения и последующих обрезки концов проволок, заточки и вытягивания проволок из основания на требуемую, величину, отличавшийся тем, что, с целью повышения качества зондовых головок, перед фиксацией проволок их рас|полагают веерообразно, натягивают, а затем подводят основание, перемещая его

10 вдоль проволок до требуемого расстояния между последними, а фиксацию зондовых проволок о существляют путем нанесения .клеящего состава на основание с образо ва нием каналов для размещения в них с возможностью

15 продольного перемещения проволок.