Способ получения монокристаллических слоевкремния
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
272964
Союз Ссветскик
Социзлнстическив
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 29.1 I I.1968 (№ 1229544/22-1) Кл. 12g, 17/32 с присоединением заявки №
Прис ритет
Опубликовано 14Х11.1970. Бюллетень № 23
Дата опубликования описания 22.Х.1970
МПК В Olj 17/32
УДК 669.058-172 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения А. Г. Петрик, Ю. В. Юшков, Л. Я. Шварцман и Н, К. Устинова
Заявитель СГСг.. (-/,; ч —. PP q.1;Л
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ СЛОЕВ
КРЕМНИЯ
Предмет изобретения
Известен способ получения монокристаллических слоев кремния из наро-газовой фазы, r!o которому парс-газовая смесь, подаваемая к поверхности подложки, нагретой до температуры 1000 — 1200 С, включает моносилан и водородд.
По предлагаемому способу в состав парогазовой смеси вводят хлористый водород. Это предотвратит появление в газовой ф" çå у поверхности подложки мелкодисперсного кремния.
По этому спосооу осаждение производят на подложку, нагретую до 1000 — 1200 С. Паро-газовую смесь, содержащую моносилан и хлсристый водород, взятые в объемном соотношении 10: 1, подают к поверхности подложки со скоростью 5 — 7 смз/сек. Получающийся в результате термического, разложения моносилана кремний наращивается на подложку, сбразуя монокристаллический слой. Появление мелкодисперсного кремния в газовой фазе предотвращается за счет его реакции с хлористым водородом в момент образования. В процессе эпитакспального роста происходит травление поверхности подложки хлористым водородом, в связи с чем улучшается структу5 ра получаемых слоев. При устранении загрязнения растущего слоя мелкодисперсным кремнием из газовой фазы происходит более равномерное наращивание по площади подложки.
Способ получения монокристаллическ гх слоев кремния эпитаксиаль|,ым нара цивание:,!
15 из паро-газовой фазы, включающей моноснлан и водород, на,подложку, нагретую до температуры 1000 — 1200 С. отличпюи1ий ся тем, что, с целью предотвращения появления в газовой фазе мелкодисперсного кремния. B co20 став паро-газовой смеси, подаваемой к поверхности подложки, вводят хлористый водород.
