Вакуумный молекулярный насос

270)66

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт..свидетельства ¹

Кл. 27с, 2

Заявлено 06.Х11.1965 (№ 1041136j26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 08.V.1970. Бюллетень М 16

Дата опубликования оги сания 14Л 111.1970

МПК F 04С

УДК 621.527.8(088.8) Номитет по делам изобретений и открытий ори Совете Мииистрав

СССР

Волосок;.:,ам латентно- ах;, ичеотчйй бмблнатена ЧБА

Автор изобретения

И. Р. Зацман

Заявитель

ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС

Изобретение предназначено для создания вакуума в различных приборах, установках и испытательных камерах.

Известен вакуумный молекулярный насос, содержащий цилиндрические статор и ротор, на котором симметрично относительно входного патрубка расположены винтовые канавки. Этот насос имеет недостаточно высокую скорость откачки.

Предлагаемый насос отличается от извест-ного тем, что на статоре выполнены винтовые канавки в направлении, противоположном направлению канавок на роторе.

Угол наклона канавок увеличивается в направлении откачки, а количество канавок на роторе и статоре в области входного патрубка больше чем в области выходных патрубков.

Такая конструкция позволяет повысить скорость откачки насоса.

На фиг. 1 представлен насос в осевом разрезе; на фиг. 2 показаны нарезки ротора (сплошными линиями) и статора (пунктирнымп линиями).

Насос состоит из корпуса (статора) 1, на внутренней цилиндрической поверхности которого вг»полнсна винтовая зубчатая нарезка (паз) с малой толщиной зуба по сравнению с шириной впадины. 1-Iарезка выполнена в обеих половинах статора, но имеет разное направление (левое и правое). Наклон зубьев составляет 45 — 80".

В опорах 2 и 3 укреплен ротор 4, на цилиндрической поверхности которого также

5 выполнена винтовая зубчатая нарезка противоположного направления в различных полови lах. Наклон зубьев тот же, что и на статоре. В каждой половине ротора I1 статора нарезка разбита на несколько зон, например

10 "а, б, в, так что по направлению к зоне в угол наклона зубьев увеличивается, а высота зубьев уменьшается. Меньший угол наклона зубьев в зоне а и большая их высота резко увеличивают скорость откачки.

15 Вал ротора со шкивом 5 выведен с малым зазором через бронзовые кольца б, укрепленные на мембранах Т в откачиваемой камере

8. Насос снабжен входным фланцем 9 и выходными патрубками 10 и 11. Зазор между

20 ротором и статором (0,2 яя) компенсирует увеличение диаметра ротора за счет центробежных сил.

Вакуумное уплотнение вала со шкивом 5 достигается откачкой пз камеры 8 газов, проникающих через зазор между ближайшим к шкиву кольцом и валом. Газы, проходящие в насос чсрсз второе кольцо, откачиваются через патрубки 10 и 11. Эластичные мембраны 7, на которых укреплены кольца 6, компенсируют вибрации вала, возникающие, на270166

Предмет изобретения

2 и

9 аг. / д d а а Ф

< ьиг.2

Составитель Г. А. Жукова

Редактор Т. 3. Орловская 1 скрсд А. А. Камышникова Коррсктор Л. И. Гаврилова

Заказ 2188;7 Тира>к 480 Г1одписное

ЦНИИПИ 1(огиитста по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва Ж-35, Рву нская нао., д. 4i5

Типография, пр. Сапунова, 2 пример, из-за недостаточной балансировки ротора при упругом креплении опор 2 н .т.

1. Вакуумный молекулярный насос, содер>кащий цилиндрические статор и ротор, на котором симметрично относительно входного патрубка расположены винтовые канавки, отличающийся тем, что, с целью увеличения скорости откачки насоса, на статоре выполиены винтовые канавки в направ IcHHH, противоположном направлению канавок на роторе.

2. Насос по п. 1, 07яииа оцийся тем, что

5 винтовые канавки на роторе н статоре выполнены с углом наклона, увеличивающимся в направлении откачки.

3. Насос по пп. 1 и 2, отлииатощийся тем, что количество канавок на роторе и статоре

Т0 в области входного патрубка больше чем и обл асти выходных и атрубков.