Конденсационный вакуумный насос

Всесоюзная и т-.

Я библиотека ЫБ

ИСА

О П и Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

243l4I

Сова Советскиа

Социалистически»

Республин

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Кл. 27Ь, 12

Заявлено 26.I.1960 (№ 709558/23-26) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 10.VII.1969. Бюллетень ¹ 23

Дата опубликования описания 4.XI1.19á9

МПК F 04с

УДК 621.527.8 (088.8) Комитет по делам иааоретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения Б. П. Батраков, Е. С. Боровик, Б. Г. Лазарев и А. С. Тугушев

Заявитель

КОНДЕНСАЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Известны конденсационные вакуумные насосы для откачки газов путем их вымораживания, включающие сборник для водорода с ожижителем, расположенным в вакуумной камере, соединенной с масляным диффузионным и форвакуумным насосами. Такие насосы нельзя использовать для откачки трудноконденсирующихся газов, например водорода, неона и других.

В предлагаемом вакуумном насосе в вакуумную камеру вмонтирован гелиевый ожижитель со сборником для гелия, что позволяет откачивать, например, водород при скорости откачки до 100000 л/сек по водороду и при давлении до 10 о мм рт. ст. С целью получения температуры поверхности сборника для гелия около 3 К к сборнику для гелия присоединен форвакуумный насос.

На чертеже показан предлагаемый насос, вертикальный разрез.

Основным элементом конденсационного вакуумного насоса является сборник 1 для гелия, представляющий собой полированный медный бачок. Поступает гелий в сборник из гелиевого ожижителя 2, состоящего из ряда противоточных теплообменников, в которых гелий высокого давления охлаждается парами отходящего гелия и жидким водородом, кипящими при пониженном давлении, и парами отходящего водорода. Водород поступает из сборника 8, который питается водородным ожижителем из сборника 4.

Для защиты сборников 1 и 8 от теплового излучения внутри вакуумной камеры > уста5 новлены кольцевые азотные экраны б, охлаждаемые азотом. С торцов вакуумная камера защищена экранами 7 и 8. Для создания предварительного вакуума служит масляный диффузионный насос 9, который запускается

10 с помощью форвакуумного насоса 10.

К рабочему объему конденсационный вакуумный насос присоединен фланцем 11. Все устройство смонтировано на раме 12.

Запуск конденсационного вакуумного насо15 са осуществляется в следующем порядке.

Включается насос 10 и создается разрежение до 10 мм рт. ст., затем включается насос 9, который обеспечивает давление до

10 мм рт. ст. После накопления жидкого

20 водорода в сборнике 8 запускается гелиевый ожи>китель 2. После появления в сборнике 1 жидкого гелия включается соединенный со сборником вакуумный насос, который поддерживает в сборнике давление 180 мм рт. ст.

Предмет изобретения

1. Конденсационный вакуумный насос для откачки газов путем их вымораживания, включающий сборник для водорода с ожи30 >кителем, расположенным в вакуумной каме248141

Редактор H. С. Коган Техред А. А. Камышникова Корректор А. П. Васильева

Заказ 3205/4 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва К-35, Раушская наб., д. 4/5.

Типография, пр. Сапунова, 2 ре, соединенной с масляным диффузионным и форвакуумным насосами, отличающийся тем, что, с целью откачки трудноконденсирующихся газов, например водорода, при скорости откачки до 100000 л/сек по водороду и давлении до 10 1в мм рт. ст., в вакуумную камеру между сборником для водорода и масляным диффузионным насосом вмонтирован гелиевый ожижитель со сборником для гелия.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что, 5 с целью создания температуры поверхности сборника для гелия около 3 К, к сборнику для гелия присоединен форвакуумный насос.