Устройство для ориентации электронно-оптическойсистемы

270132 оп ., c и з орла;т вмм я

Союз Советскиз

Сокизлистичвскиз

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 04 Ч11.1968 (№ 1253187/26-25) Кл. 21g, 36

21g, 21/01 с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 08.Ч.1970. Бюллетень № 16

Дата опубликования описания 11ХП1.1970

МПК H 05ll 7/00

Н Olj 39/10

УДК 621.384.6(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

А. А; Воробьев и С. А. Воробьев

Томский политехнический институт имени С. М. Кирова

Заявитель

УСТРОИСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОЙ

СИСТЕМЫ

Предмет изобретения

Известно устройство для ориентации монокристаллической пластины, в котором используется эффект каналирования, наблюдаемый при прохо>кдении протонов через монокристаллическую пластину, например кремния.

Для автоматизации ориентации электроннооптической системы в предложенном устройстве юстирующие и фокусирующие элементы жестко соединены с монокристаллической пластиной.

На чертеже показано предложенное устройство.

Устройство состоит из фокусирующих I u юстирующих 2 элементов и ориентируемой электронно-оптической системы 8. В последней жестко укреплена монокристаллическая пластина 4 таким образом, что ее кристаллографическая ось, например (100), совпадает с оптической осью хх системы. За монокристаллической пластиной установлен детектор излучения 5.

Пучок заряженных частиц, например протонов, фокусируется с помощью фокусирующего элемента 1 на монокристаллическую пластину 4. Вследствие эффекта каналирования протонов прп прохождении через монокристаллпческую мишень наибольшее число частиц будет зарегистрировано детектором 5 при совпадении направления падающего пучка протонов с кристаллографической осью.

Поворачивая электронно-оптическую систему 8 с жестко закрепленной в неи монокристаллпческой пластиной 4 при помощи юстцрующих элементов 2 вокруг оси ду и накло10 няя систему относительно осп хх, добиваются максимального эффекта каналирования.

Устройство для ориентации электроннооптической системы относительно оси потока заряженных частиц с использованием эффекта каналироваппя в монокристаллпческой

20 пластине, содержащее юстирующпе и фокуспрующие элементы, монокристаллическую пластину, отличающееся тем, что, с целью автоматизации ориентации системы, элементы электронно-оптической системы жестко соедп25 иены с монокристаллической пластиной. к

"5

Составитель Н. Соловьев

Редактор Т. 3. Орловская Техрсд А. А. Камышникова Корректор Н. А. Митрохина

Л",каз 161/18 Тирани 480 Подписное

ЦНИИПИ Ксмитста по делам изобретеьиш и о.кр1ятий при Совете Министров ССС1д

Москва 71(-35, Раушская пгб., д. 4/5

Типография, ир. Сапунова, 2