Устройство для травления органических объектов
5оеосюэ:. - :sl гктах-, но-тех;, .; и-;-;сная тбпи ото;а:4Ь
О П
260026
Сове Советских
Социалистических
Республик
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт, свидетельства ¹
Кл. 21g, 21/01
Заявлено 02.11.1968 (№ 1214637/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
МПК Н -OIj 37/02
УДК 537.533.35(088.8) Комитет по делом изобретеиий и открытий при Совете Министров
СССР
Опубликовано 22.XII.1969. Бюллетень № 3 за 1970
Дата опубликования описания 27.IV.1970
Авторы изобретения
Г. Н. Березин и И. Я. Передериенко
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ОРГАНИЧЕСКИХ ОБЪЕКТОВ
Изобретение относится к области разрядных устройств, в которых электрический разряд воздействует, например активирует, на вводимое в разряд вещество, в частности газообразный окислитель.
Изобретение касается устройства для травления органических обьектов газообразным окислителем, например кислородом, активированным в высокочастотном безэлектродном разряде, и может быть применено, в частности, при препарировании электронно-микроскопических объектов.
Известные устройства травления активированным кислородом органических объектов для электронно-микроскопических исследований не обеспечивают равномерности травления различных участков объекта из-за неодинаковых условий активации окислителя в различных точках сечения выходного контура высокочастотного активатора. Кроме того, применявшаяся ранее защита объекта от влияния высокочастотного поля с помощью заземленного электрода-сетки неизбежно сопряжена с загрязнением объекта материалом сетки, подвергающимся термокатодному распылению.
В предлагаемом устройстве для устранения этого область травления объекта отделена or области активации цилиндрической диафрагмой, формирующей поток окислителя. На наружную стенку диафрагмы со стороны области травления насажено электропроводное кольцо.
На фиг. 1 и 2 изображено предлагаемое устройство, продольный и поперечный разрезы.
Рабочая камера 1, предназначенная для активации кислорода и травления образца, соединена с вакуумной системой и системой напуска кислорода, обеспечивающими при работе устройства динамическое равновесие между напуском и откачкой при давлении в области
2 травления порядка 10 > торр. С наружной стенкой рабочей камеры скреплены пластины конденсатора 8, являющиеся обкладками выходного конденсатора высокочастотного гене15 ратора и обеспечивающие высокочастотный активирующий разряд в области 4 активации рабочей камеры 1. Цилиндрическая диафрагма 5 отделяет область активации от области травления. Со стороны области травления на
20 наружную стенку диафрагмы надето металлическое кольцо б, замыкающее на себя поле рассеяния пластин конденсатора 8. В области травления расположен препарируемый объект
7, .помещенный на держателе Ь .
25 В описываемом устройстве поток актпвированного окислителя, сформированный цилиндрической диафрагмой, обеспечивает равномерное и интенсивное травление различных участков образца, а электропроводное кольцо, за30 щищающее объект ст воздействия высокочаÌ0026
Напуск кислорода акуум
<Риг. f
Фиг Г
Составитель E M Буряк
Редактор В. С. Панкина Техред Т. П. Курилко Корректор А. П. Васильева
Заказ 93(/16 Тираж 499 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва Ж-З5, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапу ова, 2 стотного поля, изолировано от области активации и, следовательно, не подвергается термокатодному распылению и не загрязняет объекта.
Предмет изобретения
Устройство для травления органических объектов активированным газообразным окислителем, состоящее из диэлектрической рабочей камеры, высокочастотного активатора и приспособления для защиты объектов от воздействия высокочастотного поля, отличающееся тем, что, с целью улучшения равномерности травления различных участков объекта и уп ранения загрязнения об.ьекта продуктами термокатодного распыления защитного приспособления, область травления объекта отделена от области активации цилиндрической диафрагмой, формирующей поток окислителя, а на наружную стенку диафрагмы со стороны области травления насажено электропроводное кольцо.
