Способ изготовления автоэлектронной пленочной электродной системы

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 2lg 13zp

Заявлено 08Х11.1964 (№ 910095/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 07.1Х.1965. Бюллетень № 18

Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР

МПК Н 011

УДК 621.385.032.011.212 (088.8) Дата опубликования описания 25.Х.1965

Автор изобретения

В. В. Чесноков

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АВТОЭЛЕКТРОННОЙ ПЛЕНОЧНОЙ

ЭЛЕКТРОДНОЙ СИСТЕМЫ

Подписная группа Л3 97

Известен способ изготовления автоэлектронного пленочного катода с вытягивающим электродом, расположенным на малом расстоянии от края катодной пленки. Изолирующий зазор между катодом и вытягивающим электродом образуется щелью, прорезаемой электронным лучом.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что пленки катода и вытягивающего электрода напыляют одновременно под углом из точечного источника, расположенного со стороны вытягивающего электрода, Подложка, на которую напыляют пленки, имеет ступенчатый рельеф, в тени которого при косом напылении проводящих пленок образуется изолирующий зазор.

Способ упрощает технологию изготовления электродной системы, разделенной изолирующим зазором.

Предмет изобретения

Способ изготовления автоэлектронной пленочной электродной системы, состоящей из катода и вытягивающего электрода, путем напыления на диэлектрическую подложку

10 проводящих пленок этих электродов, отличаюи1ийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления электродной системы, разделенной изолирующим зазором, пленки напыляют на подложку катода и вытягивающе15 ro электрода одновременно под острым углом из точечного источника, расположенного со стороны вытягивающего электрода.