Крофотонаборное устройство для изготовления

2634I4

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт, свидетельства №

Кл. 57(1, 1)01

Заявлено 03.1,1968 (№ 1210719/18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 04.11.1970. Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 9.V1.1970

МПК G 031

УДК 655.229.7 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

И. М. Глазков, В. А. Зайцев, В. А. Козлов, Я. А. Райхман и Э. Н. Тряков !

Заявитель

МИКРОФОТОНАБОРНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

ФОТОШАБЛ ОН О В

Изобретение относится к области микроэлектронного производства, Известны фотонаборные устройства для производства фотошаблонов, содержащие станину, координатный стол с микрометрическими винтами и приводом от шаговых электродвигателей, проекционный объектив, узел сменных диафрагм, осветитель, затвор и блок программного управления.

Эти устройства имеют невысокую точность (разрешающую способность) из-за расположения проекционного объектива, узла сменных диафрагм, затвора и осветителя, объединенных в единый конструктивный узел и размещенных на консолях станины над координатным столом. Такое расположение делает чувствительным устройство к воздействию внешних и внутренних источников вибраций и тепла. Кроме того, оно имеет недостаточную производительность, поскольку количество сменных диафрагм ограничено и отсутствует возможность непосредственного получения высококачественных мультиплицированных фотошаблонов путем проецирования предвари,тельно изготовленного на устройстве промежуточного фотошаблона.

Предложенное устройство не имеет этих недостатков. В нем сменная оправа с проекционным объективом установлена в опирающемся на верхнюю плоскость станины горизонтальном основании координатного стола, снабженного окном для объектива и гнездом для крепления фотопластины, а шторчатая наборная диафрагма подвешена к основанию координатного стола на проходящих через окно станины колоннах, на которых между наоорной диафрагмой и объективом закреплена обойма для установки промежуточного фотошаблона.

На чертеже представлена нр|пщиниальная схема описываемого устройства.

Оно содержит станину 1, на которой a«pellлены осветитель 2 и затвор 8. На верхней горизонтальной плоскости станины через рет5 зиновые прокладки установлено основание -1 координатного стола 5. Для повышения то и ости текущие координаты определяются не микрометрическими винтами и щаговыми электродвигателями, а чувствительными датчиками б линейных перемещений, выполненными на дифракционных решетка..

Известно, что наибольшая точность установки координат соответствует положению перемещающегося объекта в центре координат25 ного стола. С этой целью в координатном o I оле имеется гнездо 7, в котором расположсч а фотопластина 8 светочувствительным слоем вниз. Кроме того, в координатном столе сделано окно для объектива 9, приподнятого над

Зо основанием 4. Проекционный объектив 9 в on263414

35 раве 10 помещен в окне основания координатного стола, что уменьшает влияние вибрационных и тепловых воздействий на точность проецирования изображений. Раздвижная шторчатая наборная диафрагма ll подвешена к основанию 4 на колоннах 12, проходящих через окно (отверстне) станины, что уменьшает влияние различных внешних воздействий а точность проецирования изображений, повышая тем самым разрешающую способность устройства, а применение раздвижной шторчатой диафрагмы увеличивает его производительность.

При изготовлении фотошаблонов среднего качества, минимальные размеры элементов которых до 5 лк, в основание 4 вставляется сменная оправа 10 с линзовым растром. Ограниченные размеры проецируемых элементов (не более 0,1;(0,1 л,я) позволяют при этом получить удовлетворительное разрешение.

При изготовлении фотошаблонов высокого качества, минимальные размеры проецируемых элементов которых менее 5 ик, в основание 4 вставляется оправа 10 с высокоразрешающим объективом. Вначале через ооъектив проецируется изображение наборной диафрагмы 11 и изготовляется промежуточный фотошаблон, который затем на этом же устройстве мультиплицируется. На колоннах 12 закреплена обойма Й для установки промежуточного фотошаблона, изображение которого проецируется высококачественным объективом

9 на фоточувствительный слой пластины 8, а координатный стол совершает шаговые пере5

20 мешения. В этом случае устройство выполняет роль фотоштампа.

Применение в качестве проекционного объектива линзового растра значительно повышает производительность.

Для защиты фотопластин и оптики от внешнего света и пыли гнездо 7 для установки фоi опластин закрыто колпаком 14, имеющим окно со светофильтром 15 и загрузочное окно со шторками lб. Работой устройства управляет программный блок 17 по вводимой с перфоленты или другого носителя информации.

Предмет изобретения

Микрофотонаборное устройство для изготовления фотошаблонов, содержащее станину с осветителем и затвором, координатный стол с датчиками линейных перемещений, наборную диафрагму с раздвижными шторками, сменный объектив в виде линзового растра или высокоразрешающего объектива и блок программного управления, отличающееся тем, что, с целью повышения точности (разрешающей способности) и производительности, сменная оправа с проекционным объективом установлена в опирающемся на верхнюю плоскость станины горизонтальном основании координатного стола, снабженного окном для об.ьектива и гнездом для крепления фотопластины, а шторчатая наборная диафрагма подвешена к ос званию координатного стола на проходящих через окно станины колоннах, на которых между наоорной дифрагмой и объективом закреплена обойма для установки промежуточного фотошаблона.

Составитель А. М. Массов

Техред Т. П. Курилко

Корректор С. М. Сигал

Редактор А. Корнеев

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1334/12 Тираж 500 П Одп ясно с

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров ССС1

Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4)5