Способ нейтрализации отходящей паро-газовой
О П И С А--Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
-262843
Союэ Советскил
Социалистических
Рвспуйлик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 12е, 2/01
Заявлено 17.Х.1968 (¹ 1278416/23-26) с присоединением заявки №
Пр иор итет
Опубликовано 04.111970. Бюллетень № 7
Дата опубликования описания 26Х,1970
МПК В Old
УДK 66А)74.046(088.8) Комитет по лелем кэосрвтвиий и открытий при Совете Ыииистров
СССР
Авторы изобретения В. С. Малороссиянов, В. В. Селин, В. И. Остапенко и Л. Я. Шварцман
Заявитель
СПОСОБ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ОТХОДЯЩЕЙ ПАРО-ГАЗОВОЙ
СМЕСИ ПЕЧЕЙ ВОДОРОДНОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ
ПОЛ И КРИСТИЛЛ ИЧ ЕСКОГО КРЕМН ИЯ
Изобретение относится к цветной металлургии. Способ может быть использован при нейтрализации выбрасываемой наро-газовой смеси печей водородного восстановления поликристаллического кремния, применяемого для получения полупроводникового поликристаллического кремния, а также для нейтрализации любых других смесей газов, содержащих хлориды кремния.
Известен способ нейтрализации отходящей паро-газовой смеси печей водородного восстановления поликристаллического кремния, заключающийся в том, что паро-газовую смесь, состоящую из трихлорсилана, четыреххлористого кремния, хлористого водорода, водорода и полихлоридов кремния, сжигают, затем подвергают поглощению водой в скруббере. Однако образующиеся при этом токсичные продукты сжитания требуется разбавлять большим количеством воздуха, что увеличивает и осложняет аппаратуру. Кроме того, продукты выброса в атмосферу содержат воздух со следами хлористого водорода и со значительным количеством двуокиси кремния (улавливание
SiO> составляет лишь 50%).
Предлагается способ, по которому термообработку ведут в присутствии водяного пара при температуре 115 †1 С в эжекционном устройстве. Способ позволяет повысить степень нейтрализации наро-газовой смеси (по.2
%0эв 200 раз) по сравнению со степенью нейтрализации по известному способу.
Пример. Паро-газовую смесь подают в пароструйный эжектор с центральным подво5 дом смеси и периферийным подводом пара.
Из эжектора наро-газовую смесь подают в трубу Вентури, в диффузоре которой разбрызгивается вода. Затем из трубы Вентури расгвор и наро-газовая смесь поступают в скруб1о бер, орошаемый водой через форсунки. Из скруббера газ выбрасывают в атмосферу через тидрозатвор, а раствор — в систему кислотной канализации через сливной бак. При этом в атмосферу сбрасывают водород, содер15 жащий следы НС1 и незначительное количество двуокиси кремния (в 200 раз меньше по сравнению с известным способом).
Предмет изобретения
20 1. Способ нейтрализации отходящей парогазовой смеси печей водородного восстановления поликристаллического кремния путем термообработки наро-газовой смеси с последующим поглощением водой, отличающийся тем, 25 что, с целью повышения степени нейтрализации, термообработку ведут в присутствии водяного пара при температуре 115 — 140 С.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что термообрабопку ведут в эжекционном устрой30 стве.
