Молекулярный вакуумный насос

О П И С А Н И Е l74314

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 24. IV.1964 (Ф 896804/24-6) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 27Х111.1965. Бюллетень № 17

Дата опубликования описания 19.Х.19б5

Кл. 27d, 302

Государствеиный комитет по делам изобретеиий и открытий СССР

МПК F 04g

УДК 621.521(088.8)

621.527.8 (088.8)

621.524.1(088.8) Авторы изобретения

Ю. М. Тузанкин и Л. А. Беляев

Заявитель

МОЛЕКУЛЯРНЪ|Й ВАКУУМНЬ1Й НАСОС

Подписная группа М 129

Известны молекулярные вакуумные насосы, в корпусе которых размещен ротор, выполненный в виде дисков с прорезями или лопатками, установленными перпендикулярно оси вращения ротора.

Предлагается насос, в корпусе которого неподвижные лопатки установлены по концентрическим окруженностям параллельно оси вращения ротора, а между ними помещены ряды рабочих лопаток, укрепленных на диске ротора. Чтобы уплотнить зазор между диском ротора и корпусом, в последнем сделаны спиральной формы каналы, идущие от центра к периферии. Для откачки двумя радиальными потоками неподвижные и рабочие лопатки выполнены двухъярусными.

Подобная конструкция насоса позволяет создать радиальный поток откачиваемого газа, что увеличивает быстроту откачки.

В насосе могут быть использованы также два или несколько роторов, вращающихся навстречу друг другу.

На фиг. 1 изображен предлагаемый насос в продольном и по А-А разрезах, с направлением движения откачнваемого газа от периферии к центру; на фиг. 2 — то же, с направлением движения откачиваемого газа от центра; на фиг. 3 — то же, с двухьярусным выполнением неподвижных и рабочих лопаток; на фиг. 4 — то же, с двумя вращающимися роторами.

В корпусе 1 насоса по концентрическим окружностям параллельно оси 2 вращения ротора установлены неподвижные лопатки 8, между которыми помещены ряды укрепленных на диске 4 ротора рабочих лопаток 5. При этом могут быть использованы лопатки трехгранного, трапецеидального, ромбического и

10 др. профилей. Их располагают в ряд между двумя окружностями под углом а к плоскости, касательной к наружной окружности. В результате такой расстановки лопаток пазы между ними расширяются от центра к пери15 ферин, что позволяет увеличить быстроту откачки по сравнению с известной расстановкой, когда пазы одинаковы по всей ширине лопатки. Рабочие лопатки одной стороной крепятся на диске ротора, а другой — к бандажным

20 кольцам б.

Газ из объема откачиваю-г через патрубок

7 и нагнетают через патрубок 8 к форвакуумному насосу. На фиг. 1, 3, 4 поток откачива25 емого газа направлен от периферии к центру и, следовательно, разъем 9 корпуса насоса находится в области высокого вакуума. В насосе на фиг. 2 поток газа направлен от центра к периферии, и поэтому разъем 9 находится

30 в области низкого вакуума, что является пре174314 имуществом по сравнению с насосом, изображенным на фиг. 1.

Полость высокого вакуума от низкого в зазоре между диском ротора и корпусом отделяют с помощью спиральных каналов 10, направленных от центра к периферии. Каналы вместе с вращающейся нижней плоскостью диска образуют обычный молекулярный насос, используемый в данном случае в качестве уплотнителя.

Для откачки газа двумя радиальными потоками (фиг. 3) неподвижные н рабочие лолатки выполнены двухъярусными. С целью улучшения условий работы высота таких лопаток может быть уменьшена к периферии.

Предлагаемый насос можно также выполнить с двумя (фиг. 4) или несколькими роторами, вращающимися навстречу друг другу, что увеличит эффективность откачки, При этом направление откачки центральной и пер иферийных частей совпадет.

Предмет изобретения

1. Молекулярный вакуумный насос с размещенным в его корпусе ротором, отличаюикайся тем, что, с целью создания радиального потока откачиваемого газа для увеличения быстроты откачки, в корпусе параллельно оси вращения ротора по концентрическим окружностям установлены неподвижные лопатки, между которыми помещены ряды укрепленных па диске ротора рабочих лопаток.

10 2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с целью уплотнения зазора между диском ротора и корпусом, в последнем предусмотрены спиральной формы каналы, направленные от

)5 центра к периферии.

3. Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с целью откачки двумя радиальными потоками, неподвижные и рабочие лопатки выполнены двухъярусными.

4. Насос по п, 1, отличающийся тем, что, с целью увеличения эффективности откачки, в нем предусмотрены два или несколько роторов, вращающихся навстречу друг другу.