Способ очистки оптических деталей и приёмниковизлучения

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Сскивлистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 08ЛУ.1968 {¹ 1231261/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 04.VII.1969. Бюллетень № 22

Дата опубликования описания 21.XI.1969

Кл. 12g, 1/03

ЧПК В Olj ДК 541.14{088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

А. H. Люличев, И, Я. Фуголь и Б. И. Хрущ

Заявитель Физт1ко-технический институт низких температур АН Украинской ССР

СПОСОБ ОЧИСТКИ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ И ПРИЕ1т1НИКОВ

ИЗЛ УЧЕН ИЯ

Изобретение относится к способам очистки рабочих поверхностей оптических деталей и приемников излучения от органических пленок без применения растворителей и механическ0го воздействия.

Известен способ очистки поверхйостей or пленок, заключа|ощийся в том, что очищаемый объект должен находиться около 100 час в атмосфере газового разряда в специальной камере, которая является частью высоковольтной водородной лампы. Цель изобретения— упростить процесс удаления органических пленок с поверхностей очищаемых объектов.

Для этого очищаемые объекты облучают в диапазоне 105 — 135 нм длин волн в открытой воздушной среде на расстоянии 0,5 — 2,5 мм or выходного окна лампы. При этом пронсходиг фотохимическое разложение органической полимерной пленки на легко испаряющиеся газообразные продукты. Время процесса сокращается до 1 час.

Предмет изобретения

l. Способ очистки оптических деталей и приемников излучения в газовой среде путем облучения водородной лампой, отличатощти ся

20 тем, что, < целью упрощения процесса удаления органических пленок с поверхности очищаемых объектов, их облучают в диапазоне

105 — 135 нм длин волн в открытой воздушной среде, 15 2. Способ по и. 1, отличающийся тем, что объект при облучении располагают на расстоянии 0,5 — 2,5 мм от выходного окна лампы.