Патент ссср 232537

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕ ТЕ Н И Я

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

232537

Секта Советскиа

Социалистические

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

1 л, 42е, 23/55

Заявлено 28.VIII.1967 (№ 1182032/18-10) с присоединением заявки №

МП1;, 6 01f

Приоритет

Комитет ло делам иаобретений и открытий лри Совете Мииистров

СССР

Ъ Д11 681.2-53 (088.8)

681.2-55 (088.8) Опубликовано 11.Х11.1968. Бюллетень ¹ 1 за 1969 r, Дата опубликования описания 8.1т .1969

Автор изобретения

Ю. В. Фундатор

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ РАСХОДА ГАЗОВ

Изобретение относится к области приборостроения и предназначено для программного изменения расхода газов при регулировании, например, процесса выращивания монокристаллов. 5

Известные устройства, применяемые только при регулировании процесса выращивания монокристаллов, недостаточно точны и нс обеспечивают линейности и постоянной крутизны характеристики переменного сопротив- 10 лсния, а также воспроизводимости.

Предложен устройство отличастсл тем, что между стабилизатором давления и измерителем расхода установлен постоянный дров- 15 сель с гидравлическим сопротивлением, значительно превьштающим комму икационные сопротивления, а задатчик стабилизатора давления соединен муфтой с реверсивным электродвигателем, подключенным к пневмоэлек- 20 тропреобразователю, управляемому пневматическимм генератором импульсов с регулируемой скважностьто импульсов.

Это позволяет повысить точность устройства. 25

На фиг. 1 приведена типовая ветвь предложенного устройства, например, при выращtfваиии монокристаллов на установках с миогосопловыми газовыми горелками; на фиг. 2— схема программного устройства. 30

Газ проходит через запорный вентиль l, стабилизатор 2 давления, настраиваемый по манометру 8, постоянньп1 дроссель 4, измеритель 5 расхода газа, запорный элемент 6 отссчного устройства аппарата (блок-вентиля) и попадает в горелку 7, установленную в кристаллизаторе техно лоl ической установки.

Давление газа на выходе стабилизатора даь Ip0HH изменяется реверсивным электродвигателем 8, жестко соединенным с задатчиком стабилизатора давлсиил.

На этот электродвигатель от программного устройства 9 (генератора импульсов) поступаст последовательность импульсов разной полярности, соответствующая технологической программе. Последовательность импульсов может быть в любое время отключена, и управление настройкой стабилизатора давления задатчиком мож T осуществляться вручную.

Устройство состоит из двухсопсльного пнсвiiaT0 iecicoro peae 10, пневматической erat> ocTit

11, переменного сопротивления 12, пневматического диода 18, индикатора 14, пневмоэлсктропреобразователл 15, электросскундомера

16, тумблера-псреключателя 17, конечных выключателей 18 и 19, конденсатора 20 и тумблера 21. Совокупность элементов 10, 11, 12 и

18 образует пневматический ге тератор ими; льсов.

Устройство работает следующим образом, 232537

Частота следования импульсов программы вводится путем изменения величины перемеHного сопротивления 12. Длительность импульсов определяется вели и ной сопротивления диода 18 и подпора реле 10. Для создания требуемого диапазона частоты следования и длительности импульсов применястся емкость 11.

Индикатор 14 фиксирует поступающую на пневмоэлектропреобразователь 1о последовательность импульсов. Электросекундомер 16 дает количественную оценку работы генератора импульсов.

Управляющий сигнал реверса электродвигателя формируется тумблером-переключателем 17 путем поочередного включения конденсатора 20 в одну или другую обмотку электродвигателя.

Конечные выключатели 18 и 19 ограничивают перемещение муфты. Для обеспечения ручного управления в наладочных режимах контакты пневмоэлектропреобразователя 15 шунтируются тумблером 21.

Расход газа изменяется при изменении заданий стабилизатору давления. При увеличении выходного давления этого стабилизатора расход газа увеличивается, при умепьшении— уменьшается. Время изменения выходных давлений стабилизатора зависит от величины частоты, генерируемой в генераторе импульсов.

Перед началом работы снимают или рассчитывают расходную характеристику (давление-расход) каждой ветви многосопловой горелки, характеристику угла поворота электропривода в зависимости от частоты генератора в генераторе импульсов.

Стабильность воспроизведения расходной характеристики обеспечивается выбором со5 противления постоянного дросселя, равного не менее 95О О от общего сопротивления ветви многосопловой газовой горелки, и термостабнльностью материала дросселя (термостабильное стекло) .

10 Зная перечисленные выше характеристики для каждой ветви многосопловой горелки, можно путем соответствующего изменения частот генераторов, стоящих в программных устройствах каждой ветви горелки, установить определенные соотношения расходов различных газов, необходимые для выполнения технологической задачи.

Предмет изобретения

Устройство для регулирования расхода газов, содержащее измеритель расхода, стабилизатор давления, программное устройство с реверсивным электродвигателем и запорные

25 элементы, отличающееся тем, что, с целью повышения точности, в нем между стабилизатором давления и измерителем расхода установлен постоянный дроссель с гидравлическим сопротивлением, значительно превышающим

30 коммуникационные сопротивления, а задатчик стабилизатора давления соединен муфтой с реверсивным электродвигателем, подключенным к ппевмоэлектропреобразователю, управляемому пневматическим генератором импуль35 сов с регулируемой скважностью импульсов.

232537

Р г 7

Составитель Н. Il. Йарнан

Редактор Е. Г. Кравцова Техред Л. Я. Левина Корректор И. Л. Кириллова

Заказ 427/9 Тираж 427 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2