Способ синтеза алмаза
Применение: электроника, получение искусственных монокристаллов алмаза с заранее заданными физическими свойствами. Сущность изобретения: способ синтеза алмаза основан на разложении карбида кремния в водной среде, в которую вводят, по крайней мере, один, растворимый хлорид магния, кальция, хрома или железа. Процесс разложения карбида кремния ведут в интервале температур 200 - 350oС. В водную среду могут быть дополнительно введены растворимые химические вещества, в состав которых входят легирующие алмаз примеси. Технический результат заключается в создании простого и дешевого способа синтеза монокристаллов алмаза с малым количеством дефектов в кристаллической решетке, а также возможность легирования таких алмазов примесями с целью получения необходимых физических свойств. 1 з.п. ф-лы, 2 ил., 1 табл.
Область техники.
Изобретение относится к способам искусственного синтеза монокристаллов алмаза с заранее заданными физическими свойствами, например, с полупроводниковыми, с определенными люминесцентными, с определенным цветом или бесцветные и т.п. Применение таких кристаллов в электронике должно существенно улучшить ее технические параметры и надежность [1]. Уровень техники. Алмаз является уникальным материалом, обладающим рядом рекордных физических параметров среди всех известных природных и искусственных синтезированных минералов. По объему использования алмазов в технике судят о техническом уровне развития той или иной страны. Основным источником этого материала являются природные алмазы. Их главное использование - ювелирная индустрия и техника. Технические применения природных алмазов ограничены в основном использованием в абразивных порошках и различного рода режущих инструментах. Применение природных алмазов в современной электронике сдерживается крайне высокой нестабильностью их электрофизических характеристик, которые изменяются даже в пределах одного кристалла. Кроме того, природные полупроводниковые алмазы чрезвычайно редки и дороги, что также препятствует применению их в серийных производствах. Известно несколько способов искусственного синтеза алмазов. Одним из наиболее распространенных является способ синтеза путем фазового перехода графита в алмаз в среде металлов-катализаторов при температуре выше 1200oС и давлении выше 40 тысяч атмосфер [2]. Этим способом получены монокристаллы алмаза массой до 35 карат. Из-за больших энергозатрат и сложной техники стоимость таких монокристаллов получается сравнимой со стоимостью природных алмазов. Кроме того, эти алмазы содержат в себе примеси металлов, ухудшающие их электрические свойства, и имеют очень низкую, в сравнении с лучшими образцами природных алмазов, подвижность носителей электрического тока [3]. В работе [4] описан способ синтеза алмаза, основанный на перекристаллизации углерода в водной среде с порошкообразным никелем, аморфным углеродом и алмазной пудрой при давлении 1400 атм и температуре 800oС. В этой работе получены монокристаллы алмаза с неправильной кристаллической формой размером 5-10 мкм. В ряде случаев наблюдались агрегаты размером до 100 мкм. Принципиально важно, что, как и в природных алмазах, никаких металлических примесей в них не обнаружено. Наиболее близким по технической сущности к заявляемому и выбранным в качестве прототипа является способ синтеза алмаза, предложенный в работе [5]. Сущность его основана на разложении карбида кремния - SiC водой при температуре 700-750oС и давлении 1000-5000 атм. Однако в экспериментах выход алмаза оказался очень мал. На поверхности алмазных затравок были обнаружены кристаллы октаэдрической формы размером не более 3 мкм. Заметного роста затравок не обнаружено. Сущность изобретения. Задачей изобретения является синтез монокристаллов алмаза с малым количеством дефектов в кристаллической решетке, а также возможность легирования таких алмазов примесями с целью получения необходимых физических свойств, например: полупроводниковых, люминесцентных и т.п. Технический результат изобретения - простота реализации в сочетании с низкой стоимостью получения алмазов с малым количеством дефектов в решетке достигается тем, что в способе синтеза алмазов, основанном на разложении карбида кремния в водной среде, новым является то, что в водную среду вводят, по крайней мере, один из растворимых в воде хлоридов металлов из ряда металлов, присутствующих в кимберлитовых трубах [6], таких как: Mg, Ca, Cr, Mn, Fe, Ni и т.д. Процесс разложения ведут в интервале температур от 200oС до 350oС. Дополнительный технический результат - придание алмазу заранее заданных физических свойств достигается тем, что в предложенном способе синтеза алмазов в водную среду дополнительно вводят растворимые химические вещества, которые в условиях осуществления способа разлагаются с выделением легирующих алмаз примесей. Экспериментальным путем было установлено, что карбид кремния разлагается растворенными в воде хлоридами металлов, такими как: Mg, Ca, Cr, Mn, Fe, Ni при температурах выше 200oС с образованием силикатов и свободного углерода, за счет которого может осуществляться рост алмаза. Хлоридная часть может быть представлена как одним хлоридом, так и смесью хлоридов разных металлов. При увеличении температуры возрастает скорость разложения SiC, что сказывается на скорости роста кристаллов алмаза и на их габитусе. На габитус кристалла должны влиять также набор и концентрация веществ в растворе. Приведенные опыты показали, что при температуре около 300oС уже заметно разлагают SiC хлориды Mg, Ca, Cr. В этом случае схему разложения SiC можно представить как:

Формула изобретения
1. Способ синтеза алмаза, основанный на разложении карбида кремния в водной среде, отличающийся тем, что в водную среду вводят, по крайней мере, один растворимый хлорид магния, кальция, хрома или железа, и процесс разложения карбида кремния ведут в интервале температур 200 - 350oС. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в водную среду дополнительно вводят растворимые химические вещества, в состав которых входят легирующие алмаз примеси.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3