Способ определения коэффициента теплопроводности тонких пленок
О П И С А Н И Е 2!8487
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 10.1Ч.1967 (№ 1148972/26-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 17 Ч.1968. Бюллетень ¹ 17
Кл 421, 12/02
МПК G 011<
УДК 536.2.022 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР, Дата опубликования описания 19 Ч111.1968
Авторы изобретения
Б. Н. Егоров, В. И. Кондратенков и И. Б. Рубашов
Заявитель
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОЭФФИЦИЕНТА
ТЕПЛОПРОВОДНОСТИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
Предмет изобретения
Известны способы определения коэффициента теплопроводности тонких пленок путем измерения потока тепла, проходящего через пленки, перепада температуры на них и последующего вычисления коэффициента теплопроводности по известной формуле.
Эти способы не обеспечивают точности определения, так как не учитывают термическое сопротивление контактов при измерении температуры пленок, соизмеримое с сопротивлением самих пленок.
Особенностью предложенного способа является то, что пленки собирают в пакет, а тепловой поток направляют вдоль пакета. Это позволяет повысить точность определения коэффициента теплопроводности тонких пленок.
Способ осуществляется следующим образом.
Набранные в пакет пленки закрепляют в зажимном устройстве, один конец которого связан с нагревателем и имеет свободное перемещение при расширении, а другой — жестко соединен с теплоприемником.
Перепад температуры на пленках измеряют термопарами, спаи которых заделывают в просверленные отверстия пакета. Тепловой поток, проходящий через пакет, подсчитывают по перепаду температуры, создаваемому на эталонном материале, из которого изготовлено зажимное устройство. Для устранения боковых .. потерь тепла измерительный участок изолируют. Все измерения проводят в вакууме после установления стационарного состояния.
10 Описанный способ проверен на пленках из молибдена и ряда полимеров.
15 Способ определения коэффициента теплопроводности тонких пленок путем измерения потока тепла через пленки, перепада температур на них и последующего вычисления коэффициента теплопроводности по известной фор20 муле, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения, пленки собирают в пакет, а тепловой поток направляют вдоль пакета.